Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des
couches de TiO2
3.4.2 Dispositif utilisé
L'AFM utilisé est le microscope "Dimension 3100
Scanning Probe Microscope (SPM)" conçu par la société
"Veeco Metrology Group". Une photo de cet AFM est montrée en figure
3.10. Nous avons utilisé principalement ce microscope en mode contact
pour obtenir des images topographiques de la surface de nos couches minces
nanostructurées ainsi que pour déterminer les
caractéristiques de surface de chaque couche.
Fig. 3. 10 Le microscope « Dimension 3100 Scanning
Probe Microscope (SPM) »
Le « Dimension 3100 » est un microscope à
balayage de sonde qui utilise des normes et des modes d'imageries de SPM
(Scanning Probe Microscopy ou encore microscope à balayage de sonde)
avancés pour mesurer les caractéristiques de surface pour des
plaquettes semi-conductrices, les masques lithographiques, des supports
magnétiques, CD / DVD, des biomatériaux, de l'optique, et
d'autres échantillons jusqu'à 200 mm de diamètre [j]. Le
suivi précis du laser et la capacité de modifier les techniques
de balayage sans outils garantissent la flexibilité et la
facilité d'emploi.
Le système est piloté par le contrôleur
`'NanoScope 3D» qui peut balayer de la taille maximale de balayage
jusqu'à quelques nanomètres avec une résolution de 16 bits
sur toutes les formes d'onde de balayage et sur chacun des axes [j].
Le « Dimension 3100 » est offert avec le «
Dimension DAFMLN low noise head » qui représente un système
d'isolation de la chambre afin de minimiser le bruit. Le scanner est construit
de matériaux rigides et de basse-vibrations qui garantissent un faible
bruit tout en offrant une fiabilité supérieure.
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