Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009

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3.3.2 Description de l'appareillage

L'appareil utilisé est un diffractomètre « Philips X'Pert 1 X-ray diffractometer » équipé d'un goniomètre à géométrie BRAGG-BRENTANO (cf. Fig. 3.4). Dans cette configuration, la

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