Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des
couches de TiO2
Fig. 3. 26 Modèle révisé de
spectre d'impédance avec les demi-cercles de recouvrement
3.6.1.2 Résultats et discussion
Les mesures ont été faites à l'aide d'un
analyseur d'impédance HP4192 piloté par le logiciel HP VEE
(Hewlett Packard Visual Engineering Environment) et de gamme
fréquentielle comprise entre 5 Hz et 13 MHz, d'amplitude d'excitation du
signal perturbateur entre 5 mV et 1.1 V et de tension de polarisation
crête à crête de 70 V. Nous avons choisi la spectroscopie
d'impédance pour la détermination des propriétés
électriques des couches élaborées pour sa
faisabilité en tant que technique de contrôle non destructif
applicable aux couches minces.
Cette technique consiste à travailler avec une tension
sinusoïdale U de fréquence f (la pulsation w vérifie : w
=2ðf telle que U=U0 exp (jwt) (cf. Fig. 3.27). Cette tension produit un
courant sinusoïdal dans le matériau qui subit cependant un
déphasage ? variable : I=I0exp j (wt+?). L'impédance est alors
définie comme le rapport T/U : Z(w)=Z0 exp(-j?), Z est un nombre
complexe composé d'une partie réelle Re (Z) et d'une partie
imaginaire Tm (Z) :
Z(w) = Re (Z) + j Im (Z).
Nous utiliserons la représentation cartésienne
de Z dans le plan complexe aussi appelée représentation de
Nyquist comme explicité dans le paragraphe précédent.
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