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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des couches de TiO2

de pulsation caractéristique ?? qui lui est propre et le spectre d'impédance d'un matériau présente, donc, généralement trois demi-cercles ou arcs de cercle (voir figure 3.25) :

- aux basses fréquences (10-2 à 10 Hz) correspond l'arc associé aux phénomènes se produisant aux électrodes (dans notre cas la gamme fréquentielle est comprise entre 5 Hz et 13 MHz),

- aux fréquences moyennes (10 à 105 Hz) correspond la réponse des joints de grains, - aux hautes fréquences (>105 Hz) correspond la réponse des grains.

Fig. 3. 25 Modèle de circuits équivalents et le spectre d'impédance correspondant

Des modèles de circuits électriques équivalents ont été employés précédemment pour simuler la réponse et pour fournir la compréhension du système polycristallin et composé. Bauerle [108] a proposé un modèle du système simple, montré dans la figure 3.25. Les spectres d'impédance sont analysés en se basant sur le modèle physique largement répandu des grains et des joints de grain connectés en série avec un modèle de circuit équivalent. Dans ce circuit, les éléments de RC parallèles, correspondent aux grains (g), aux joints de grain (gb) et à l'électrode (el) sont arrangés en série. Les parties réelles et imaginaires d'impédance obtenues pour ce circuit équivalent idéal sont :

Chapitre 3 : Elaboration et caractérisation des couches de TiO2

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

?? ??gb

??

Re(Z) = Z' = 1+(??/???? ) + 1+(??/??gb) + 1+(??/??????) ???? (21)

Im (Z) = Z?=

??g(??/???? ) +

1+(??/???? )

??gb(??/??gb) + 1+(??/??gb)

??????(?? ??????

/ ) (22)

1+(??/??????)

Les résistances totale équivalentes des grains (Rg), des joints de grain (Rgb) et des électrodes (Rel) peuvent être déterminées à partir des intersections des arcs des demi-cercles correspondants avec l'axe des réelles.

· co= 1 / RiCi est la fréquence angulaire ou encore la pulsation de l'élément i ; qui correspond à la valeur maximale de chaque arc.

· Rg, Rgb et Rel représentent la longueur du segment de l'axe réel intersecté par les demi-cercles correspondants, tandis que Cg, Cgb et Cel sont déterminés en substituant la valeur de résistance dans les Eqs. (21) et (22).

· La résistance totale Rt de l'échantillon est déterminée à partir de l'intersection de l'arc de très basse fréquence avec l'axe des réelles, auquel la pulsation co -* 0 ; et elle est décrite comme Rt = Rg + Rgb + Rel. Dans notre système, la résistance Rel d'interface d'électrode-échantillon (c'est à dire laque d'argent-échantillon) peut être négligée à cause de l'absence du demi-cercle à très basse fréquence.

Les spectres d'impédance peuvent présentés deux demi-cercles à recouvrement partiel. Le demi-cercle de basse fréquence est attribué aux effets de joint de grain, alors que l'arc de haute fréquence est attribué au grain (Fig. 3.26). Pour un spectre typique d'impédance de deux demi-cercles à recouvrement partiel, un modèle modifié de Cole-Cole [109] peut être exprimé par :

Z* (??) = ??0 +

??1- ??0

??????

+

??2- ??1 (23)

1+(

g)-ag

1+(??????gb)-agb

Avec Z* est le conjugué de Z (Z* = Re (Z) - Im (Z)) ôg et ôgb sont les temps de relaxation moyens des grains et des joints de grain respectivement alors que ág et ágb sont les paramètres qui représentent la déviation de la forme des demi-cercles idéale du spectre d'impédance selon le model de Debye pour les grains et les joints de grain.

ENIT 2009 77

ENIT 2009 78

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