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Réalisation d'un capteur de gaz MOX

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par Mansour BENDIMERAD
Université des Sciences et de la Technologie d'Oran - Magister en Physique 2009
  

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I.2 Définition d'un capteur de gaz

Un capteur de gaz est défini comme un composant dont au moins une de ses propriétés physiques change quand il est soumis à un changement d'environnement gazeux. D'une manière générale, un capteur est composé de deux éléments principaux : l'élément sensible et le transducteur :

- L'élément sensible est le coeur du capteur, sur lequel se passe la réaction avec l'espèce gazeuse.

- Le dispositif permettant la conversion du résultat de la réaction entre le gaz et l'élément sensible en un signal facilement mesurable (signal électrique, optique ou acoustique) L1].

I.3 Principales familles de capteurs

Tous les capteurs de gaz peuvent être classés en fonction de leur principe de détection, basé sur un phénomène physique ou chimique, ils peuvent êtres aussi classés par la méthode de mesure effectuée. Pour cela Nous allons séparer les capteurs de gaz (chimiques) en deux grands groupes :

- les capteurs de gaz à mesure direct (simple) : ou la réaction chimique affecte directement une mesurable caractérisée électriquement par une résistance, un potentiel, un courant ou bien une capacité (figure I.1).

- les capteurs de gaz à mesure indirecte (complexe) : ou la réaction chimique n'affecte pas une caractéristique électrique mesurable directement et on aura besoin de faire appelle à un transducteur (rôle d'interface) pour convertir le phénomène détecté en un signal électrique mesurable (figure I.2) L2].

Capteur

Phénomène

Signal électrique

Figure I.1. Dispositif Direct [2].

Signal électrique

Phénomène

Capteur

Transducteur

indicateur

Figure I.2. Dispositif complexe [2].

Basé sur cette classification, le tableau I.1 présente les principaux types de capteurs. Et suit après un aperçu du principe de détection de quelques types de capteurs.

Tableau I.1. Classification des capteurs de gaz selon leur principe de détection [1].

PRINCIPE

GRANDEUR MESUREE

EXEMPLE DE CAPTEUR

Potentiométrique

Tension

Cellule électrochimique

Ampérométrique

Courant

Cellule électrochimique

capacitif

Capacité / charge

Capteur d'humidité

Calorimétrique

Température

pellistor

Gravimétrique

Masse

Capteur à microbalance

Résonance

Fréquence

Capteur à onde de surface

optique

Pic d'absorption

Détecteur infrarouge

Résistif

résistance

Capteur MOX

Fluorescence

Intensité lumineuse

Fibre optique

I.3.1 Capteur Direct

I.3.1.1 Capteur à transistors à effet de champs (GASFET ou ChemFET)

Les capteurs de gaz de ce type ont la structure classique d'un transistor MOS à effet de champs sauf que la grille est remplacée par un oxyde métallique sensible au gaz. L'interaction de l'oxyde métallique avec le gaz à détecter se traduit par une variation de la tension de seuil du transistor [1]. La figure I.3 présente une structure typique de ce capteur. En gardant les polarisations drain-source VDS et grille-source VGS constantes, la nature et la quantité du gaz adsorbé conduisent à une variation du courant drain-source IDS facilement mesurable. Ce type de capteur est principalement utilisé pour la détection de l'hydrogène.

 

Figure I.3. Schéma d'un
capteur de gaz de type
GASFET [1].

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