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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Chapitre 1 : Matériau TiO2

1.1 Introduction

Le titane (Ti) est le dixième élément le plus abondant de la croute terrestre (0.63 %) [a] et par conséquent ses oxydes, dont le TiO2, sont présents dans beaucoup de minéraux, dont de nombreux silicates. Plus d'une cinquantaine de minéraux possèdent ainsi des teneurs en TiO2 (matériau transparent / bleu pâle) supérieures à 1 % dont l'ilménite et le rutile. Malgré cette richesse naturelle, le TiO2, abondamment employé comme pigment blanc dans les peintures, les cosmétiques ou la papeterie, est synthétisé industriellement ce qui permet de l'obtenir à des coûts très bas. Le TiO2 peut être synthétisé comme un cristal simple, poudre, céramique et couche mince. Cette dernière forme cristalline est celle adoptée dans notre recherche.

1.2 Structure cristalline

Contrairement aux autres oxydes, l'oxyde de titane compte plusieurs polymorphes. Jusqu'à présent, huit sont répertoriés, à savoir : rutile, anatase, brookite, bronze (TiO2-B) [1], columbite (TiO2-II, srilankite ou bien TiO2 type ?-PbO2) [2], hollandite (TiO2-H) [3], ramsdellite (TiO2-R) [4] et baddeleyite (TiO2-III) [5].

Les trois premiers étant les principaux. Le rutile est l'espèce la plus commune, formée typiquement dans une large gamme de pressions et de températures ; l'anatase est le polymorphe de basse température tandis que la brookite est plus rare.

Néanmoins, dans des conditions de pression et de température particulières, les cinq autres formes ont été observées. En effet, la présence de l'espèce (TiO2-B), qui a été en premier synthétisée et caractérisée au laboratoire par L. Brohan en 1980 [6] a été rapportée récemment dans le minerai de perovskite [7], dans les Tektites (débris de roches vitrifiés formés après impact de météorites ou de comètes avec le sol terrestre) [8] et sous forme de lamelle associée à l'anatase dans des veines hydrothermales [9]. Les quatre autres variétés qui restent : la ramsdellite (TiO2-R), la columbite (TiO2-II), la hollandite (TiO2-H) et la baddeleyite (TiO2-III) ont été obtenues soit par des réactions topotactiques (hollandite et ramsdellite) ou par traitement à haute température de l'anatase ou du rutile (columbite et baddeleyite) [10, 11, 12, 13].

Par exemple, à haute pression, i.e. plus que 10 Gpa, la structure baddeleyite apparaît [14]. Alors que le srilankite a été accru par épitaxie atomique de couche à partir de TiCl4 et H2O [15].

Dans toutes ces variétés, à l'exception de la baddeleyite, le titane est trouvé en coordinence octaédrique (octaèdres TiO2) (voir Fig.1.1). Les réseaux tridimensionnels de chaque variété ne diffèrent que par le mode d'agencement des octaèdres TiO6 qui peuvent être reliés entre eux par

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