2.6.1.4 Fonctionnement
Cette technique fonctionne suivant un procédé
d'éjection de matériau à la surface d'un solide (cathode)
par le bombardement de particules ionisées et énergétiques
d'un gaz neutre (ions Ar+). Par simple choc élastique, les
ions transfèrent une partie de leur énergie à un ou
plusieurs atomes de la surface de la cible, rompent les liaisons et impriment
une quantité de mouvement aux atomes arrachés qui se condensent
ensuite sur le substrat (anode). L'arrachage des atomes de surface se produit
lorsque l'énergie transférée dépasse
l'énergie de liaison (voir Fig.2.9) [f].
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Choc d'un électron sur un atome d'argon
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Ionisation de l'argon
avec production
d'un
électron
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Bombardement de l'ion
argon sur la cible, choc
des
électrons sur des atomes
d'Ar,
neutralisation
d'électrons
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Émission d'un atome de
la cible vers
les
substrats, neutralisation
de l'ion Ar+
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Fig. 2. 9 Mécanisme d'arrachage des
atomes
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