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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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Chapitre 1 : Matériau TiO2

comme capteur de gaz pour l'hydrogène [79, 80], et le TiO2 peut remplacer ZrO2 dans les sondes de lambda utilisées dans les industries d'automobile [21].

Il est utilisé aussi comme une couverture des électrodes de soudure à l'arc ou comme un agent de polissage doux : pour automobiles

Il concerne aussi de nombreuses applications à l'intérieur des bâtiments, s'appuyant sur l'utilisation d'éclairage artificiel ayant une partie de leur spectre d'émission dans l'UV. Typiquement, une lampe à fluorescence émet un rayonnement UV de 0,4 uW.cm-2 et une lampe à incandescence une puissance de 0,07 uW.m-2, d'après [81].

Ainsi, l'utilisation d'oxydes à haut indice de réfraction tel que le dioxyde de titane (n=2.4 sur l'ensemble du spectre visible) a permis la réalisation de micro-guides d'ondes aux performances tout à fait remarquables.

Sa constante diélectrique élevée en a fait un candidat potentiel pour le remplacement de SiO2 dans les dispositifs MOSFET [82, 83].

1.5.6 Eclairage des tunnels

Le dioxyde de titane est incorporé dans le bitume de routes situées sous des tunnels, il donne une chaussée claire permettant un meilleur éclairage du tunnel. 130 tonnes de TiO2 ont été employées pour 3 tunnels autoroutiers de contournement de Genève [c].

En effet, l'indice de réfraction de la phase rutile du TiO2 pour ? = 590 nm est : n = 2,70, tandis que celui de l'anatase vaut : 2,55 (à titre de comparaison : le diamant (2,45), le ZnS (2,38), le ZnO (2,2) et le NaCl (1,54)) [c]. Le TiO2 présente pour le spectre de la lumière visible un coefficient de diffusion élevé sans zone d'absorption de telle sorte que 96 % de la lumière incidente est réfléchie. Par conséquence, il est utilisé pour l'éclairage dans les tunnels.

1.5.7 Chauffage

Il est aussi utilisé pour la fabrication du titanate de baryum : céramique ayant les propriétés d'une thermistance (résistance à coefficient de température positif, CTP), utilisée comme élément chauffant de petits appareillages électroménagers : cafetières électriques, chauffe-biberons, plaques chauffantes. Sa résistance augmentant avec la température, lorsque la température voulue est atteinte, la résistance est suffisante pour empêcher le passage du courant électrique et ainsi arrêter le chauffage, puis le réguler.

ENIT 2009 16

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