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Elaboration et caractérisation physique des couches minces de TiO2 déposées par pulvérisation cathodique

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par Ihsen BEN MBAREK
Ecole Nationale d'Ingénieurs de Tunis - Mastère en Génie des Systèmes Industriels 2009
  

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C-------------------------------------------------------------------------------------

CM : Couche Mince.

CTP : Résistance à Coefficient de Température Positif. CVD : Chemical Vapour Deposition.

D------------------------------------------------------------------------------------

DC : Direct Current.

DIBS : Dual Ion Beam Sputtering. DRX : Diffraction des Rayons X. DSSC : Dye-Sensitized Solar Cells.

E------------------------------------------------------------------------------------EJT : épitaxie par jets moléculaires. H------------------------------------------------------------------------------------HP VEE : Hewlett Packard Visual Engineering Environment. I-------------------------------------------------------------------------------------

IBAD : Ion Beam Assisted Deposition.

IBS : Ion Beam Sputtering.

ICDD : International Centre for Diffraction Data.

ICSD : Inorganic Crystal Structures Database.

IR : Infrarouge (780 nm et 1 000 000 nm) : IR proche (de 0,78 pm à 1,4 pm), IR moyen (de 1,4 à

3 pm), IR lointain : (de 3 pm à 1 000 pm).

J-------------------------------------------------------------------------------------

JCPDS : Joint Committee on Powder Diffraction Standards.

L-------------------------------------------------------------------------------------

LIR : IR lointain de 3 pm à 1 000 pm.

LISR : Large Integrating Sphere Attachment.

LPCVD : Low-Pressure Chemical Vapor Deposition.

LP-MOCVD : Low-Presssure Metal-Organic Chemical Vapor Deposition.

M------------------------------------------------------------------------------------

MBE : Molecular Beam Epitaxy.

M-D : Movchan et Demchishin model. MIR : IR moyen de 1,4 à 3 pm.

MOCVD : Metal-Organic Chemical Vapour Deposition.

MOSFET : Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor.

MOV : Matières Organiques Volatiles.

P------------------------------------------------------------------------------------

PDF : Powder Diffraction File.

PECVD : Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition.

PET : Polyester.

PID : Proportional-Integral-Derivative Controller.

PIR : IR proche de 0,78 pm à 1,4 pm.

PLD : Pulsed Laser Deposition.

PVD : Physical Vapor Deposition.

R------------------------------------------------------------------------------------

RF : Radio Frequency 13.56 MHz.

S-------------------------------------------------------------------------------------

Sccm : standard cubic centimeters per minute (soit un centimètre cube par minute dans les

conditions suivantes : Température = 0°C, Pression = 101.325 kPa)

SFM: Scanning Force Microscope.

SIE : Spectroscopie d'Impédance Electrique.

SPM : Scanning Probe Microscope.

T-------------------------------------------------------------------------------------TCO : Transparent Conducting Oxide.

U------------------------------------------------------------------------------------

UC : Unité de Contrôle.

ULVAC : The ULtimate in VACuum Technology.

UVCVD : Ultra-Violet Chemical Vapor Deposition.

UHV-MOCVD : Ultra-High Vacuum Metal-Organic Chemical Vapour Deposition.

UV : Ultra-Violet.

UVA : Ultraviolet-A (400-315 nm).

UVB : Ultraviolet-B (315-280 nm).

UVC : Ultraviolet-C (280-10 nm).

UV extrêmes : Ultraviolets extrêmes (200-10 nm).

UV proches : (380-200 nm de longueur d'onde).

Y-------------------------------------------------------------------------------------YAG : Yttrium Aluminium Garnet.

ENIT 2007 vi

Introduction générale

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"Des chercheurs qui cherchent on en trouve, des chercheurs qui trouvent, on en cherche !"   Charles de Gaulle