III.3.2.Effet des substrats
Pour mieux mettre en évidence l'influence de la nature
des substrats employés sur l'état de surface des films d'oxyde de
zinc déposés, on a schématisé l'évolution de
la rugosité avec les différences types de substrat et pour
différents taux de dopage.
Si on fait abstraction aux conditions expérimentales
qui varient sensiblement d'un dépôt à un autre, on
s'aperçoit que la surface la plus lisse est obtenue sur Si(100). Alors
que le dopage en aluminium fait augmenter la rugosité d'une façon
significative pour les films déposés sur des substrats de
silicium polycristallin.
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Rugosite (nm)
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16 14 12 10 8 6
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Si(111)
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Si(100)
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Verre
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Si-Poly
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Substrats
(a)
Rugosite (nm)
70
60
50
40
30
20
10
0
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Si(111)
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Si(100)
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Verre
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Si-Poly
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Substrats
(b)
Rugosite (nm)
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25 20 15 10 5 0
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Si(111)
Substrats
(c)
Figure III.27. Evolution de la rugosité Ra des
films minces ZnO (a) et AZO (b,c) en fonction
des substrats.
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