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Réalisation d'un capteur de gaz MOX

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par Mansour BENDIMERAD
Université des Sciences et de la Technologie d'Oran - Magister en Physique 2009
  

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III.6.2 Etape de la détection

Au cours de cette étude, nous avons analysé la réponse électrique de quatre séries de capteur à savoir :

- Série CG1 : capteur de gaz à base d'oxyde de zinc non dopé.

- Série CG2 : capteur de gaz à base d'oxyde de zinc dopé Al 3%. - Série CG3 : capteur de gaz à base d'oxyde de zinc dopé Al 1%. - Série CG4 : capteur de gaz à base d'oxyde de zinc dopé Cu 1%.

Pour des concentrations d'éthanol fixé respectivement à :

C1 = 337 ppm

C2 = 194 ppm

III.6.3 Protocole de la manipulation

La détection ne se fait qu'une fois la température de 300 °C est atteinte, elle ne peut se faire à température ambiante, ceci est démontré sur la figure III.18.

Ceci est dü au faite que la réaction d'adsorption de l'éthanol sur la surface de ZnO n'est activée qu'une fois cette température est atteinte.

 

(a)

 

(b)

 
 

(c)

Figure III.18. Représente la variation de la résistance de trois capteurs (CG1) en fonction de
la température pour une concentration C1= 337 ppm.

 

(a)

 

(b)

Figure III.19. Représente la variation de la résistance de capteurs CG1 en fonction de la
température (pour une concentration C1 = 337 ppm) : (a) échantillons soumis à un recuit à
500 °C avant exposition au gaz d'éthanol, (b) échantillon testé directement après dépôt de la
couche sensible.

(0 4 MO)

Cette expérience nous permet de montrer que les couches minces de ZnO doivent être

Sous air R= 13 MOhm

soumises à un recuit sous air (adsorption d'une grande quantité d'oxygène O2) avant d'être

ous ga Ethanol 3 test

employées dans la détection.

Figure III.20. Représente la variation de la résistance de capteurs CG1 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol C1 = 337 ppm).

Figure III.21. Représente la variation de la résistance de capteurs CG1 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol = 194 ppm).

Remarque 4 :

Trois cycles sous air sont nécessaires avant détection, quelque soit la concentration de gaz d'éthanol utilisée.

Il faut avoir une saturation en O2 de la couche de ZnO.

Figure III.22. Représente la variation de la résistance de capteurs CG2 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol C1 = 337 ppm).

Figure III.23. Représente la variation de la résistance de capteurs CG2 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol = 194 ppm).

Remarque 5 :

Le premier test effectué sur le capteur CG2 montre une allure croissante de la résistance avec la température, due notamment à l'adsorption d'O2 du faite qu'il est conducteur par dopage d'Al 3%. Par la suite les deuxième et troisième tests suivent l'allure de l'effet semiconducteur pendant le chauffage. Par la suite on obtient une meilleure réponse au troisième essai.

L'effet devient reproductible par la suite, dans la gamme de mesure 220 °C à 300 °C.

Figure III.24. Représente la variation de la résistance de capteurs CG3 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol C1 = 337 ppm).

Figure III.25. Représente la variation de la résistance de capteurs CG3 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol = 194 ppm).

Remarque 6 :

Le même aspect toujours trois cycles sont nécessaires pour avoir une stabilité du capteur.

Figure III.26. Représente la variation de la résistance de capteurs CG4 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol C1 = 337 ppm).

Figure III.27. Représente la variation de la résistance de capteurs CG4 en fonction de la
température (pour une concentration d'éthanol = 194 ppm).

Remarque 7 :

De loin le capteur CG4 (ZnO : 1% Cu) présente les meilleurs performances, puisque au premier test, il donne une réponse envers le gaz d'éthanol.

Bien que la taille des grains de l'échantillon dopé Cu soit plus grande que celle des autres échantillons, la réponse dans ce cas ci est meilleur. Alors qu'en principe de petits grains induisent des surfaces spécifiques plus grandes et par conséquent un pouvoir de détection plus important.

Ceci ne peut pas être expliqué par l'effet morphologique. Mais serait dû probablement à un effet catalytique du Cu ?

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