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|
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|
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|
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|
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|
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|
Université Hassiba Benbouali - Chlef
-
Faculté des Sciences et Sciences de
l'Ingénieur
Département d'Electronique
PROJET DE FIN D'ETUDES
En vue de l'obtention du
diplôme
D'Ingénieur d'Etat en Electronique
Option :
Instrumentation
Présenté par :
TOUAIT SAID
SLIMANI ABDOUN
BIodifisation et simufation
Du bruit de fond dans Ce
transistor
BIOS et canal
long
|
Soutenu le 30 Juin 2004
devant le jury composé de MM. :
Président : A. Aissaoui Maître
Assistant
Examinateur : S. Abadli Maître
Assistant
Examinateur : N. Brahmi Maître
Assistant
Encadreur : M. Bouremli Maître
Assistant
a Paramètre aléatoire
Cg ( nF) Capacité grille
Cox (F . cm-2)
Capacité d'oxyde par unité de surface
D (cm - 2.s-1)
Coefficient de diffusion
Espérance mathématique
Ec ( V . cm-1)
Champ critique lié à la vitesse thermique des porteursEC
( e V) Minimum de la bande de conduction
ED ( e V) Niveau des atomes
donneurs
Efm ( e V) Niveau de fermi dans un
métal
Efp ( e V) Niveau de fermi dans un
semi-conducteur «p»
Ei ( e V) Niveau de fermi
intrinsèque
En ( V)
Générateur de tension de bruit équivalent
d'entrée
Et ( e V) Niveau de fermi des
pièges
EV ( e V) Maximum de la bande de
valence
Ey ( V . cm-1)
Champ électrique transversal
F Facteur de bruit
fc ( hz) Fréquence de coin
G ( Ù-1 ) Conductance du
barreau semi-conducteur
Gn (cm - 3. s - 1 ) Taux de
génération d'électron
gd ( Ù-1 ) Conductance dynamique
gm (1 )
mA V Transconductance
. -g(ô) Densité de
probabilité
H ( x , t) Distribution de Langevin
h ( J.s) Constante de Planck
I ( mA) Courant moyenne
I( t) ( mA) Courant
instantané
ID ( mA) Courant de diffusion
Id ( mA) Courant drain
Idsat ( mA) Courant drain de saturation
Ig ( mA) Courant grille
In ( mA) Courant total
jn ( 2 )
A cm
. -
Jn ( A)
|
Densité de courant d'électrons
Générateur de courant de bruit équivalent en
entrée
|
k ( 1 )
J K Constate de Boltzmann
. -
Leff (ìm) Longueur du canal
Lg (ìm) Longueur de la
grille
M Facteur de multiplication du a l'effet d'avalanche
m n ( kg) Masse de
l'électron
N ( - 3 )
cm Population total des électrons dans un barreau
semi-conducteur
N0 ( - 3 )
cm Densité de porteurs négatifs à
l'équilibre thermodynamique
Na ( - 3 )
cm
|
Densité d'atomes accepteurs
|
Nt0 ( - 3 )
cm Densité des piéges non occupé
N( x) ( -3 )
cm
|
Nombre d'électron par unité de volume
|
n ( - 3 )
cm Densité de porteurs négatifs dans un
barreau semi-conducteur
ninv ( - 3 )
cm
Pne ( W)
|
Densité d'électron dans la couche d'inversion
Puissance du bruit à l'entrée
|
Pns ( W) Puissance du bruit à la
sortie
Pse ( W) Puissance du signal à
l'entrée
Pss ( W) Puissance du bruit à la
sortie
P0 ( - 3 )
cm Densité de porteurs positifs à
l'équilibre thermodynamique
P0 Densité uniforme
d'impulsion de Dirac
P(ö) Phénomène
aléatoire de probabilité
q ( C) Charge de l'électron
R (Ù) Résistance
RS (Ù) Résistance de
générateur
Rn (cm - 3. s-1)
Taux de recombinaison de trous
R n (cm - 3.s-1)
Flux d'électrons
rDS (Ù) Résistance
drain-source
SI ( f) ( hz)
Densité spectrale de courant
SId ( f) ( hz) Densité
spectrale de courant de drain
SIg ( f) ( hz)
Densité spectrale de courant de grille
Sth ( V hz) Densité spectrale de
tension
tox ( nm) Epaisseur d'oxyde isolant (
SiO2 )
ü ( V) Tension
Vb ( V) Tension de substrat
Vd ( V) Tension drain
Vg ( V) Tension grille
Vdb ( V) Tension drain-substrat
Vds ( V) Tension drain-source
Vdsat ( V) Tension drain de saturation
Vfb ( V) Tension de bande plate
Vs ( V) Tension source
Vsb ( V) Tension source-substrat
VT ( V) Tension de seuil
v ( m . s-1) Vitesse
électronique
W (ìm) Largeur du canal
Xj (ìm) Profondeur
des caisson drain et source
Z0 (ìm) Distance moyenne
entre les pièges
áH Paramètre de Hooge
áH ( 0) Paramètre de Hooge
à faibles champs
â Exposant du bruit en 1 / f
å . cm-1)
Permittivité diélectrique
ã ( cm-1 ) Paramètre
de tunnel
ìeff (cm 2 .
V- 1. s-1) Mobilité des
porteurs
ì i(cm 2 .
V- 1 . s-1) Mobilité
individuelle
ìn (cm 2 .
V- 1 . s-1) Mobilité des
électrons
ìp (cm 2 .
V- 1 . s-1) Mobilité des
trous
ì0 (cm 2 .
V- 1 . s-1) Mobilité à
faible champ
ÄN ( cm-3 ) Fluctuation du
nombre de porteurs
ÄN2
Variance des fluctuations
óinv ( Ù -1.
cm-1)
ôc (
s)
ôi( s)
ôr ( s)
ôs ( s)
Conductivité de la couche d'inversion
Durée de présence de l'électron dans la
bande de conduction Durée de vie individuelle
Temps de relaxation
Temps de séjours dans les piéges
ôt ( s) Temps de transit
ô1 ( s) La limite
inférieure des temps de relaxation des pièges
ô2 ( s) La limite
supérieure des temps de relaxation des pièges
è( V-1 ) Traduit la variation
de ìeff provoquée par l'existence d'un champ
électrique
ö ( s) Durée de
séjour aléatoire
öf ( V) Potentiel de fermi
Introduction générale
1
CHPITRE I: Aspects physiques du
bruit
I-1 Localisation des sources de bruit ..2
I-2 Les différentes sources de bruit 3
I-2-1 Bruit de grenaille ....3
I-2-2 Bruit thermique ...5
I-2-3 Bruit en1/f .8
I-2-3-1 Théorie de McWhorter .8
I-2-3-2 Théorie de Hooge 10
I-2-3-2-1 Equation de Hooge pour les résistances ...10
I-2-3-2-2 Equation de Hooge pour les composant non uniforme 12
I-23-2-3 Généralisation de l'équation de
Hooge 13
I-2-4 Bruit d'avalanche 14
I-2-5 Bruit de génération-recombinaison 14
CHAPITRE II: Structure et principe de fonctionnement du
transistor MOS
II-1 Le principe de fonctionnement du transistor MOS 18
II-2 Etude statique du MOSFET 21
II-2-1 Calcul de la caractéristique statique 21
II-2-2 Cas réel .23
II-3 Etude dynamique du MOSFET 24
II-3-1 Calcul de la conductance et de la transconductance .25
II-3-2 Calcul des capacités 26
CHAPITRE III: Bruit dans le transistor MOS
III-1 Bruit thermique ..27
III-2 Bruit en 1/f .27
A- Régime de faible inversion . 28
B- Régime de forte inversion 28
III-3 Bruit de grenaille 29
III-4 Modélisation du bruit dans le transistor MOSFET
29
III-4-1 Schéma équivalent physique pour le bruit
.29
III-4-2 Schéma équivalant avec
générateur de bruit ramené à l'entrée
..29
III-5 Facteur de bruit 31
III-6 Simulation et analyse 31
Conclusion générale 42
Introduction générale page :
1
Introduction générale
Tout dispositif électronique est le siège de
fluctuations dues à un déplacement aléatoire de charges
électriques. Ces fluctuations constituent pour le signal utile
traité une limite basse ultime: le bruit de fond. L'influence du bruit
sur les performances d'un circuit dépend de la fonction
électronique réalisée. En détection, le bruit fixe
la sensibilité du circuit, c'est à dire le seuil
d'intelligibilité du signal. En amplification ou en filtrage, on
considère que le fonctionnement n'est assuré correctement que si
le niveau du signal utile excède de plusieurs ordres de grandeur le
niveau de bruit (rapport signal à bruit supérieur à 60dB).
Le bruit fixe en partie la dynamique d'un système électronique.
En effet, tout dispositif actif génère intrinsèquement des
distorsions de linéarité, et la dynamique d'un circuit est
définie comme le rapport du plus grand signal qu'on peut traiter avant
de générer un taux de distorsion harmonique inacceptable
(typiquement 0,1 à 1%) sur le petit signal détectable. ... . Il
est donc important de connaître les origines du bruit et de savoir le
décrire pour être en mesure de le prendre en compte lors de la
conception des différents dispositifs électroniques.
Plusieurs processus sont générateurs du bruit de
fond, affectés à des mécanismes complexes tels que les
phénomènes de conduction, diffusion,
génération-recombinaison des paires électron-trou,
collision entre les électron et aux phénomènes liés
à l'état de surface du semi-conducteur. Le bruit de fond doit
être pris en compte dès le début de la conception de
certaines fonctions électroniques dont les caractéristiques en
bruit sont fondamentales (oscillateurs, amplificateurs d'émission et de
réception ...).
Ce projet a pour objet l'étude théorique et la
simulation du bruit de fond dans le transistor MOS en basse et moyenne
fréquence.
Ce présent mémoire s'articule sur trois chapitres
:
· Dans le premier chapitre, nous présentant les
différentes sources de bruit de fond rencontrées dans les
composants à semi-conducteur.
· Le deuxième chapitre consiste à
décrire le principe de fonctionnement du transistor
Métal-Oxyde-Semiconducteur (MOSFET) à canal long et
d'établir un modèle petit signal en basse et moyenne
fréquence .
· Le troisième chapitre est relatif à la
modélisation et la simulation du bruit de fond dans le transistor MOS.
Ceci va nous permettre de déterminer l'influence des paramètres
technologiques et de polarisation sur le bruit.
Enfin, on terminera notre travail par une conclusion.
CHAPITRE É Aspects physiques du bruit page
:2
Dans ce chapitre, nous présentons l'essentiel du
formalisme physique du bruit de fond dans les composants à
semi-conducteur : diode, transistor bipolaire, transistor à effet de
champ et l'amplificateur opérationnel.
É-1 Localisation des sources de bruit :
Considérons un barreau de semi-conducteur de type
n+ de longueur L parcouru par un courant I.
L'équation de continuité des e-
s'écrit :
? n = 1 .div ?t q
En intégrant l'équation (² .1) le long du
barreau, on trouve:
?N =
?t
|
1 . I n g n r n
+ - (I .2)
q
|
|
Avec N est la population totale des e- libre dans le
barreau, gn et rn les taux de
génération recombinaison respectivement sur tout le volume,
In est le courant totale tel que I n = I
c + I d .
Ic : Courant de conduction.
Id : Courant de diffusion.
Si le nombre de porteur fluctue alors les deux termes du
second membre de l'équation (² .2) fluctuent ensemble ou
séparément [1], chacun de ces deux termes est
générateur d'une composante de bruit distincte.
· Le premier terme est lié au
phénomène de conduction et de diffusion des porteurs. Les
fluctuations de la fraction des porteurs assurant le courant de conduction
provoquent un effet de grenaille et les fluctuations de la fraction des
porteurs assurant le courant de diffusion provoquent des collisions entre les
e- par agitation thermique qui crée la composante du bruit
thermique.
· Le second terme est lie directement aux processus de
génération-recombinaison. Traduisant les fluctuations du nombre
de porteurs qui traduisent a leur tours les fluctuations de courant donnant
ainsi naissance a un bruit de génération recombinaison.
Aire q
É-2 Les différents sources de bruit :
É-2-1 Bruit de grenaille:
Ce bruit a son origine dans la nature granulaire (paquets) du
courant électrique et le passage des porteurs à travers une
barrière de potentiel.
Chaque fois qu'un porteur de charge traverse une
barrière de potentiel (émission d'électrons de la cathode
d'un tube électronique, zone dépeuplée d'une jonction PN
etc..), une impulsion élémentaire de courant apparaît.
Cette situation est illustrée figure I-1, ou l'on considère le
cas d'un courant très faible produit par le passage de porteurs
individuels.
Dans la zoneá , on a un paquet de 4 porteurs,
dont 2 franchissent en même temps la barrière.
On a posé
ôt le temps de transit (défini comme le temps
nécessaire au porteur pour traverser
la région en question). En superposant les imputions
élémentaires dues à un très grand nombre des
porteurs, la valeur instantanée du courant qui en résulte sera
fluctuante autour de sa valeur moyenne [2].
i( t)
zone á
Tt
t
Figure I-1: impulsions de courant, dues au passage des
porteurs.
Soit t 1 .... t j -
1, t j , t j + 1.... une
suite aléatoire correspondant à cette suite d'impulsion, en
régime permanent cette suite est poissonienne, formée d'impulsion
de Dirac de densité uniforme p0 , le courant moyen
est donc:
I = p0 .q (I .3)
Le courant instantané s'écrit:
q
I t ô
( ) = R t t
( - j )
t
|
(² .4)
|
|
CHAPITRE I Aspects physiques du bruit page
:4
1 pour 0 = t = ôt
Avec ( )
R t = 0
ailleurs
En utilisant le théorème de Carson, on
détermine la densité spectrale des fluctuations de courant
I( t) , définit par la relation suivante:
SI ( f ) = 2 .P(
V) .E{G ( f , a) 2 } (I .5)
G ( f , a) est la transformé
de Fourier de l'impulsion élémentaire q
.R( t , a)
ô t
|
, a est un paramètre
|
|
aléatoire, le symbole E désigne l'espérance
mathématique.
Il vient alors:
+8
G ( f ) = f R( t ) exp (-
2.ð . f . t)dt (I .6)
Etant donné que la fonction de probabilité de
franchissement de la barrière de potentiel n'est pas définie, en
appliquant le théorème d'érgodicité on aura: E{
G ( f) 2 }
T
2
2 dt (I .7)
~ { G ( f ) 2 } = lim G (
f )
T
?8
-
T 2
La densité spectrale de courant devient alors:
S I ( )
f q I ð ô
= 2 . . . sin . .
( ) 2
ð ô
. .
f t
f t (I .8)
Pour ð . f .ôt 1
on aura sin (ð .f .ôt ) =
ð. f .ô t, et l'équation
(I.8) devient alors:
SI ( f ) = 2 .
q.I (I .9)
L'équation (I .9) représente la loi idéale
de Schottky. (Figure I-2.a). Pour ð . f
.ôt 1 l'influence du temps de transit n'est pas
négligeable.
Le bruit de grenaille se manifeste pour ô t
ô r avec ôr est de l'ordre de
10-12s a 10-13s dans les
semi-conducteurs [3] et on peut dire que nous avons un
spectre blanc au moins jusqu'à 1Ghz voir figure I-3. De même pour
l'influence du champ électrique, il ne se fait sentir qu'au dessus de
cette fréquence.
En conclusion, le bruit de grenaille est un bruit blanc au moins
jusqu'à 1Ghz, il n'existe que lorsqu'un courant I est
imposé à travers une barrière de potentiel.
I( t)
t
ôt
I( t)
t
a: cas idéal b: influence de
ôt
Figure I-2 : courant instantané associe au parcours
interélectrode des électrons.
( )
f
SI
.I
2 .
q
0.5
0.01 0.1 1 10
ð . f . ô t
Figure I-3 : variation de la densité spectrale du
courant de grenaille I en fonction de ð . f
.ô t .
É-2-2 Bruit thermique:
En 1906, Einstein a prédit que le mouvement brownien
des électrons libres dans les métaux pourrait conduire à
l'apparition d'une f.e.m. fluctuante aux bornes de n'importe quelle
résistance qui se trouve en équilibre thermique. L'effet a
été observé pour la première fois par Johnson en
1928 et son spectre de puissance a été calculé par Nyquist
en1928.
Ce type de bruit a son origine dans l'agitation thermique des
électrons libre dans un milieu dissipatif (résistance), qui
conduit à des agglomérations spontanées des porteurs
à ses bornes. L'agitation thermique à l'échelle
microscopique est une caractéristique universelle de la matière,
si la température est différente du zéro absolu. Les
systèmes qui contiennent un très grand nombre de particules
possèdent un grand nombre de degrés de liberté capables de
stocker l'énergie. Quand nous décrivons le système du
point de vue macroscopique (c'est-àdire à l'aide d'un nombre
réduit de grandeurs physiques, comme par exemple le courant i et la
CHAPITRE I Aspects physiques du bruit page
:6
tension v), on regarde uniquement l'énergie du
système attribuée à ces quelques degrés de
liberté choisis; toute énergie qui reste est par
définition appelée "énergie thermique "[2].
Soit une résistance R contenantn e - , on
suppose que la résistance est cylindrique de longueur L et de section
S.
Chaque -
e subit en moyenne po= 1 collisions par
seconde, représentant ainsi un phénomène
ôr
aléatoire de probabilité [3], avec
è est l'intervalle aléatoire séparant deux chocs
successifs:
1 - è
P ( )
è = . exp
ô ô
(I.10)
Selon le principe d'équipartition de l'énergie,
chaque -
e possède en moyenne une énergie
égale à 2 3 .k.T , par degré de
liberté ce qui est donne une vitesse électronique moyenne
égale à [4]:
mn
Avec k constante de Boltzmann, mn est la masse de e- et T la
température.
A chaque choc la direction du vecteur vitesse change
aléatoirement avec la même probabilité
sur la sphère telle que:
v = [3 .k. (² .11)
( )ö = s in( ö )
P (I.12)
2
Avec ö angle initial suivant OX, vX = v.cos(ö)
Le courant instantané I( t) crée
par un seul électron, repéré par l'angle ö
est donnée par:
I ( t ) =. q
vER( t -tj) (I
.13)
tj
L
0 t
Avec R ( t) = ( )
cos ö è
ailleurs
0
En utilisant l'équation (I .5) on détermine la
densité spectrale de courant pour un seul électron.
SI0
|
( f) =
|
4 . . .
q v 2 ô r 3.
L2 ( 1 +( 2. ð. f r
|
(I .14)
|
|
La densité spectrale sur tout le volume s'écrit
alors:
SI
3. L
.
1 +
2.ð. f r
( f ) = 4.q. v 2
(
(
2
(I .15)
n.s.L: est le nombre d'électrons dans la
résistance.
r
2 . . ô
s
n q
.
G
L m
. n
En remplaçant v par sa valeur définie par
l'équation (² .11) et en posant
G désigne la conductance du barreau. L'équation
(² .15) devient alors:
( ) ( )2
4 . . .
S f k T G
=
I 1 2 . . .
+ ð ô
f r
|
(² .16)
|
|
Dans un semi-conducteur ôr est de
l'ordre de 10-12 à 10-13 ainsi on aura un spectre
blanc au
jusqu'à 1Ghz et l'équation (² .16) est
réduite à :
SI ( f ) = 4 . k. T
. G (² .17)
Jusqu'ici on à supposé que la vitesse
électronique v est constante, en réalité v
suit une statistique de Maxwell-Boltzman dans le semi-conducteur [5], la
valeur moyenne de l'énergie correspondant aux vibrations du
réseau s'écrit alors:
.
h
1
f
k T
.
1 1
E h f
= .
2
exp
(² .18)
En remplaçant k.T par E dans
l'expression (I.17), on trouve:
.
h
- 1
f
k T
.
1 1
SI f G h f
( ) = 4 . . .
2
exp
(² .19)
A l'équilibre thermodynamique h . f k
.T et par conséquent, on trouve l'équation (²
.17) pour
f 12 hz
6 . 1 0 à K
300 .
°
h f
Pour des valeurs petites de . on à l'approximation
suivante:
k T
.
SI
|
2
1 h f
.
( )
f k T G
= 4 . . . 1 + . +
12 k T
.
|
|
(² .20)
|
|
Dans ce cas la réactance en parallèle ou en
série avec la résistance a un effet et provoque un bruit, mais
une réactance idéale ne peut générer un bruit comme
une énergie réelle.
La densité spectrale de tension s'écrit :
SI = 4 . k. T . R
(I.21)
En conclusion, Le bruit thermique est un bruit blanc
jusqu'à 1Ghz et prend naissance en absence de tout champ
électrique.
CHAPITRE É Aspects physiques du bruit page
:8
SI ( f ) = 4 . k.T
. G
10- 18
T = 3000 °K
26
10-
5
10-
G Ù
( - 1 )
T = 300
°K
T = 3 0
°K
T ° K
= 3
10
Figure I-4: Variation de la densité spectrale du
courant de bruit thermique en fonction de
la conductance
É-2-3 Bruit en1/f:
Ce bruit s'appel également "bruit de scintillation" ou
"bruit en excès" (ce dernier terme est réservé aux
résistances, pour le distinguer du bruit thermique).
Une composante de bruit rencontrée
expérimentalement en basse fréquence dont la densité
spectrale varie en 1/fâ , le coefficientâ
est compris entre 0.8 et 1.3.
Aucune explication générale concernant les
origines de ce bruit n'a été donnée jusqu'à
présent. Néanmoins, on reconnaît que ce type de bruit est
rencontré dans tous les dispositifs actifs, structures semi-conductrices
distribuées et également dans les résistances à
couche de carbone. Il est toujours lié au passage d'un courant (en sens
direct) et qu'il dépend, dans la plupart des cas, de l'état de
surface [2].
Plusieurs auteurs ont mis en évidence des
théories et des hypothèses afin d'apporter une explication des
origines physiques de ce bruit, jusqu'à des temps proches la
théorie prédominante était celle qui mettait en jeu les
propriétés des états de surfaces des composants
(théorie de McWhorter) [6].
En 1969 Hooge a publié une équation empirique, par
la suite développé par Vander Ziel, faisant appelle à
l'effet de volume [7].
É-2-3-1 Théorie de McWhorter:
Cette théorie est basée sur les
phénomènes de piégeage et de dépiégeage des
porteurs liés aux propriétés de surfaces des
semi-conducteurs. En effet, la surface contient des pièges
CHAPITRE I Aspects physiques du bruit page
:9
2
4. Ä N
(I .27)
et des centres recombinant qui trouvent leurs origines dans
les défauts, dislocations ou impuretés vraies introduits
inévitablement dans les couches superficielles aux divers stades de la
fabrication du composant.
Le phénomène de piégeage des porteurs
engendre le bruit 1 f qui est du à la fluctuation du
nombre de porteurs ÄN de N .
L'approche utilisée est dérivée du spectre
de Lorentz [5] [7] tel que la densité de fluctuation des porteurs
s'écrit:
ô
S Ä N = 4.ÄN2
(² .22)
+( 2.ð.f.T)2
1
Avec ÄN 2 : variance des fluctuations.
Pour les N porteurs dans l'échantillon et les multiples
niveaux de pièges la densité totale de fluctuation des porteurs
s'écrit:
ô i
S N ( f ) = 4 . ÄNi 2
1 + ( 2ð. f i)2 (² .23)
On passe a l'intégrale en faisait intervenir une
densité de probabilité g (ô) telle que
:
8
g ( ô ).dô =1 (²
.24)
0
Ainsi la densité spectrale du nombre de porteurs
s'écrit:
1 2 . . .
+ ( )
8
SN ( f ) = 4 .
ÄN2.1
0
g( ô)
ð ô
f 2 .dô (² .25)
Pour le cas particulier ( ) ( ( ) )
1 ô ln ô 2 ô
1
= ô 1 = ô = ô 2
g ô 0 ailleurs
En intégrant l'équation (1.25) on trouve :
4 N 2
Ä
SN f
( ) =r
larctg Var. f .ô
2) - arctg ( 2. ð. f (² .26)
2. ð. f. ln V2 )
Pour 1/2. ðô 2 = f = 1 /
2 .ð .ô 1 On aura:
CHAPITRE É Aspects physiques du bruit page
:10
De l'équation (² .27) on voit que la
densité spectrale de fluctuation des porteurs est proportionnelle
à la distribution des pièges dans la surface. Ce terme peut
être minimisé en améliorant les propriétés de
surface.
Par ailleurs, la fluctuation des porteurs traduisant la
fluctuation du courant provoqué par les échanges
aléatoires des porteurs entre la surface du semi-conducteur et l'oxyde
contaminé qui est gouverné par l'effet tunnel est donnée
par :
ô 2 = ô1. exp
(ã.Æ0) (² .28)
ã =1010cm - 1 est le paramètre de
tunnel
Æ 0 est la distance moyenne entre les piéges
La densité spectrale des porteurs s'écrit alors
:
N 2
4 Ä
S ( ) . .ã
= (I.29)
N f f Æ 0
É-2-3-2 Théorie de Hooge:
É-2-3-2 Equation de Hooge pour les
résistances :
Si on applique au borne d'une résistance R une tension
constante V , un courant I( t)
se développe et fluctue avec la fluctuation de la
résistance :
V = I( t ). R ( t )
= const
? I ? R
= -
(² .30)
I R
La densité spectrale découle de l'équation
(² .30) et s'écrit:
2
S I f = R
( ) ( )
S f
I2 R
(I .31)
Si R et ? R sont indépendant du courant, ( )
2
SI f I et aussi indépendant du
courant, ainsi la formule mise en évidence par Hooge est de la forme
[7]:
I2 R f N
2 .
S I f R
( ) ( )
S f áH
= =
(I .32)
N est le nombre de porteurs de l'échantillon et
áH est le paramètre de Hooge qui est
très utile
une fois sa valeur est connue.
Pour une résistance a semi-conducteur, de longueur L
et de section s.
R = L2 / q.
ìeff. N (I .33)
Avec ìeff : mobilité des porteurs
Puisque R fluctue alors ìeff et N fluctuent
indépendamment D'ou:
?ì
eff
ìeff
?R ?N
= -
R N
(I .34)
La densité spectrale s'écrit alors :
S N( f)
S ( f) S
R2 ì 2
N
eff
2
(I .35)
· Si la fluctuation de mobilité est
prédominante on aura:
S R( f) S
ìeff ( f )
SI( f)
R 2
ì 2
eff I2
Dans ce cas le bruit généré est
appelé bruit en 1 / f dû à la fluctuation de la
mobilité.
|
(I .36)
|
|
· Si la fluctuation des porteurs est prédominante on
aura:
S R
( f ) = SN (
f ) = SI ( f) (I
.37)
R2
N2 I2
Dans ce cas le bruit est appelé bruit en 1 / f
dû à la fluctuation des porteurs.
Pratiquement et dans de nombreux cas, le bruit en 1 / f
décrit par l'équation (I .36) qui prédomine.
Dans ce cas, si on considère que N ne fluctue
pas et en faisant intervenir les mobilités individuelles des porteurs on
aura:
n
N.ìeff =
ì i ì eff=
1
n
.N E ìi (I .38) 1
1
S ì
|
n 1 1( )
f = 2 . S f
( ) S ( f )
= .
eff ì ì i
i
N N
1
|
(I .40)
|
|
De l'équation (I .38), on peut dire si
ìi fluctue, alors ìeff fluctue aussi
que
?ìeif = N En (I .39)
1
de même pour la densité spectrale :
CHAPITRE I Aspects physiques du bruit page
:12
Ou encore:
S eff ( f )1 (
)
ìS f
ì i
=
(I .41)
.
2 2
N ì i
ì eff
est indépendant de N mais a une dépendance
en 1 / f tel que[7]:
2
N
.
I
f
S I( f )
áH
(I .42)
L'équation (I .31) devient alors:
S f
( ) ( )
S f
ì á
I eff H
= =
(I .43)
2 ì2
ef
I
f
.
N
f
D'après l'équation d'Einstein q
.D = k.T .ìeff , si
la mobilité fluctue, par conséquent le coefficient de diffusion
fluctue ?D = ?ì eff , ainsi on aura:
S ( ) ( ) ( )
S f S f
ì
I f á
eff D H
= = =
(I .44)
I 2 2
ìD f N
2 .
eff
L'équation (I .44) montre l'aspect fondamental du bruit
en 1 / f .
L'équation de Hooge définie par
l'équation (I .44) est applicable uniquement pour les composants
uniformes. Pour les composants gouvernés par un processus de diffusion
tels que les transistors, bipolaire, FET et diode, une correction est
nécessaire.
1-2-3-2-2 Equation de HOOGE pour les composants non
uniforme :
Considérons un semi-conducteur non uniforme de
longueur L . Pour une section ÄX de X l'équation
(I .44) devient:
( ) ( )
I X
2 . á
. =
S X f
H(I .45)
f . N( X ) .Ä( X)
Avec N( X) la densité de porteur au
point X par unité de longueur, I( X) est
très souvent indépendant de X , mais pour les diodes
à base large, I( X) dépend de X ce qui
entraîne
l'utilisation d'une nouvelle méthode d'approche.
En conséquence, la densité de corrélation
de la distribution de Langevin s'écrit alors:
á H . I(
X ) .I ( X ') .? ( X
- X')
S H ( X . X ' ..f
) = (I .46)
f . N( X ')
Avec ? ( X - X' ) est la fonction de Dirac. La
densité de courant est donnée par :
I
( )
f = S ( X X f ) dXd X
. ' .
L 2 H
L L
S I
0 0
En conclusion, on peut dire que dans le cas où la
fluctuation de la mobilité est prédominante
le bruit en 1
/ f est décrit par théorie de Hooge et dans le cas
où la fluctuation du nombre de
porteur est prédominante le bruit en 1 / f est
décrit par la théorie de McWhorter.
Pour des dispositifs ayant un faible rapport surface-volume le
bruit en 1 / f est lié à l'effet de volume, par contre
pour un rapport important le bruit en 1 / f est lié à
l'effet de surface [7].
1-2-3-2-3 Généralisation de
l'équation de Hooge:
Le paramètre de Hooge peut être
évalué de l'équation (² .44) ou (² .47) Dans le
cas de l'équation (² .44) on peut écrire :
N f S I f
. . . ( ) ( )
N S
. 1
I
á H = =
I2 I2
|
(² .48)
|
|
Avec : SI ( 1) est SI (
f) à la fréquence unité
Le áH est indépendant de la
fréquence pour laquelle SI ( f) , est
mesuré.
Dans le cas où SI ( f) varie
comme 1 / f â avec â ? 1 telle que
:
S I f = S I 1 /
f (² .49)
( ) ( ) â
L'équation (².48) devient :
( 1)
=
áH
2
N . f 1 -â .SI
I
(² .50)
áH Dans ce cas dépend de la
fréquence. Pour remédier a ce problème Van Der ziel et
D.Van Rheene ont proposés une équation
généralisée [8]:
2
( ) â
á . I
S f H
= (² .51)
I N f
.
áH Devient alors:
N f S I f
â
. ( ) ( )
N S
. 1
I
á H = = (² .52)
2 I 2
I
Dans ce cas áH est indépendant
de la fréquence.
D'autre part, Kleinpenning [9], a trouvé une
dépendance du paramètre de Hooge avec le champ électrique
dans le silicium selon la relation empirique suivante :
CHAPITRE É Aspects physiques du bruit page
:14
0
R
|
L 2
q ì + ì p .
P) ( N
. n .
|
(² .55)
|
|
á ( )
H
á = (² .53)
1 +
H E
E c
áH ( 0) est le paramètre de
Hooge à faible champ et Ec est le champ critique
lié à la vitesse
thermique des porteurs.
Pour le transistor MOSFET au Si la valeur de
áH est :
áHn(0)=2.9 10-6
áHp(0) varie de 3 10-7 à 9
10-7
É-2-4 Bruit d'avalanche:
Ce bruit est lié à la multiplication par avalanche
des porteurs dans une jonction PN polarisée en inverse.
Lorsque la tension inverse appliquée augmente vers la
tension de claquage, le champ électrique devient de plus en plus
intense. Sous son influence, les porteurs de charge minoritaires
(électrons dans le matériau P et trous dans le matériau N)
sont accélérés et acquièrent assez d'énergie
pour générer une ou plusieurs paires d'électron-trou
à chaque collision avec les noeuds du réseau cristallin [2].
Ce type de bruit à la forme du bruit de grenaille avec
un certain facteur de multiplication M düà l'effet
d'avalanche [5].
La densité spectrale de courant s'écrit :
SI ( f ) = 2. q.I
.M (² .54)
En conclusion, ce bruit affecte surtout les diodes
stabilisatrices de tension travaillant à des tensions supérieures
à 14V. Le bruit d'avalanche est de type "bruit blanc" [2].
É-2-5 Bruit de
génération-recombinaison:
Ce type de bruit provient des fluctuations aléatoires des
taux de génération, de recombinaison et de piégeage des
porteurs dans un semi-conducteur [2].
Soit une résistance R à semi-conducteur
de longueur Let de section S contenant N -
e et P
trous telle que:
CHAPITRE I Aspects physiques du bruit page
:15
N = N0 + ÄN(
t) et P = P0 + ÄP(
t) , traduisant ainsi la fluctuation de la résistance telle
que:
b N P
. Ä + Ä
Ä = ?
R t R
( )
b N P
. 0 + 0
(I .56)
Avec b = ìn/ìp
Soit un courant direct traversant la résistance, la
tension développée a ces bornes fluctue comme suit:
b N P
. Ä + Ä
Ä = ?
U t R I
( ) .
b N P
. 0 + 0
Le courant de fluctuation s'écrit alors:
( ) ( )
Ä U t b N P
. Ä + Ä 0
Ä= I t = - I R b N P
. +
0 0
|
)
|
(I .58)
|
|
De l'équation (I .57), on détermine la
densité spectrale de courant.
S I ( f ) = [ 1 / ( p
0 + bÄ N 0 )]2
1S p ( f ) + b2 S
n ( f ) + 2 bS pn( f)]
(² .59)Sn ( f) et Sp ( f)
densités spectrales des électrons-trous, Spn
( f) est la densité spectrale
d'intercorrélation, qui dépendent des processus de
génération-recombinaison.
Pour trouver une expression analytique de la densité
spectrale de génération recombinaison, on considère un
échantillon a semi-conducteur de type n dont les atomes donneurs et
accepteurs sont ionisés afin de favoriser la transition entre la bande
de conduction et les niveaux de piéges, en nombre total
Nt et d'énergie Et (figure I-5).
N0
|
|
EC ED
|
+ + + + + + + + + + + +
|
|
- - -
Nt0
N t - N t0
Et
EV
Figure I-5: diagramme de bande
« Semi-conducteur de type n et centres pièges
»
CHAPITRE I Aspects physiques du bruit page
:16
ô c = N0 /
Rn, ô s = (
Nt - Nt0) /
Rn (I .60)
R n est le flux d'électrons transitant dans les
deux sens.
Dans ce cas l'électron suit une distribution
poissonnienne, de densité uniforme [1] [3]
ñ 0 = 1/(ô c +ô s) et de
probabilité:
p ( è exp( ?è /ôs) =
ôs
è étant la durée de séjour
aléatoire de valeur moyenne ôs . Le nombre de
fluctuation des e- est définie donc par:
|
(I .61)
|
|
N( t )= No. ER
( t -tj)
tj
|
1 0 < t= è
avec ( )
R t =
0ailleurs
|
|
~~ = N t -Nt0 + N0 est le nombre total
des électron.
En utilisant l'équation (I .5) la densité
spectrale est:
ô 2 s
S n (f)
= ~~ ~~ ~
4 . . (I .62)
-42 .ð.f.ôsy
1
En utilisant les équations (I .60), (I .61),
l'équation (I .62) devient alors:
( ) ( ) ( s )
ô s
S f N N
= 4 . -
n t t 0 . 1 2 . . .
+ ð ô
f
Par conséquent, la densité spectrale de courant
s'écrit :
|
(I .63)
|
|
2
SI
K.I
( )
f =1+ f2
/f02
(I .64)
Avec ( )
4 . 2 .
b N N
-
t t 0 ô et f 0 =
1 / 2 .ð.ô s
s
K =
( p 0 + bN0
Le spectre génération-recombinaison est plat
tant que f << 1 / 2 .ð.ô
s et décroît en
1 / f 2
pour f > 1 / 2 .ð.rs.ôs est
fortement dépendent de la température, généralement
à la température ambiante le bruit
de génération-recombinaison n'a pas d'effets [5]
[10] (figure I-6).
Si les pièges sont complètement vides ou pleins
le bruit de génération-recombinaison n'est pas
génère, par contre lorsque la probabilité d'occupation et
de non occupation est comparable le bruit de
génération-recombinaison est présent [11].
T = 137
°K
4
10
1
10-
12
10-
Rn ( Ù)
T = 300
°K
10 12
6 10
f
Figure I-6: Variation de la résistance de bruit en
fonction de la fréquence,
à différentes
températures.
CHAPTRE ²² Structure et principe de
fonctionnement du transistor MOS page :18
Dans ce chapitre, nous présentons une étude du
transistor MOS à canal long en régime statique et dynamique
²².1 Le principe de fonctionnement du
transistor MOS:
Les transistors MOS (Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect
Transistor), appelé transistor à effet de champ à
métal oxyde semi-conducteur, de type N et P (NMOS et PMOS) font partie
du groupe des transistors à effet de champ à grille
isolée. Le MOSFET est un des composants majeurs utilisés dans les
dispositifs électroniques. Le principe de fonctionnement a
été décrit pour la première fois par W. Shockley en
1952. Il repose sur la modulation du courant passant entre les
électrodes de drain et de source. Cette modulation est commandée
par la tension appliquée sur l'électrode latérale de
grille. Ce dispositif présente l'avantage d'être unipolaire : un
seul type de porteur participe à la conduction du courant.
Il existe deux types de transistors MOS : à
appauvrissement et à enrichissement. Le transistor MOS à
enrichissement a été utilisé dans cette étude et
son fonctionnement y est donc détaillé.
Le transistor MOS consiste en un substrat semi-conducteur sur
le quel repose une fine couche d'oxyde isolant ( SiO2 ),
d'épaisseur tox .Une couche conductrice
(métal ou polysilicium
fortement dopé) appelé l'électrode de
grille est aussi déposée sur l'oxyde. Enfin, deux
régions
fortement dopées de profondeurs XJ
, appelées source et drain, sont formées dans le substrat
de part et d'autre de la grille. La structure de base d'un
transistor n - MOS est représentée à la
figure II-1. En raison du procédé de fabrication, la grille
recouvre légèrement les régions de source et de drain. La
région entre les jonctions de source et de drain est appelée la
région du canal, et est définie par sa longueur
Leff et sa largeur W.
A l'aide de la figure II-2, nous allons rappeler le principe
des déférents modes de
fonctionnement du TMOS. Lorsqu'une
tension Vgb est appliquée entre la grille et le
substrat, la
structure de bande prés de l'interface Si -
SiO2 est modifiée. Pour le moment, nous
supposons
que la source et le drain sont à la masse ( V sb =
Vdb = 0 ); dans ce cas, trois situations peuvent
être distinguées (dans la région du canal):
accumulation, déplétion et inversion, comme indiqué aux
figures II-2.a, II-2.b et II-2.c, respectivement.
Figure II.1 : structure d'un transistor MOS de type n.
Pour des tensions de grille négatives, les trous sont
attirés à la surface et une très fine couche
de charges
positives (la couche d'accumulation) est alors formée (figure II-2a).
Avec
l'augmentation de Vgb , la courbure des bandes
devient plus faible, jusqu'à une certaine valeur
où il y'a plus de courbure des bandes .Cette valeur
particulière de tension de grille est appelée la tension de bande
plate Vfb .
Au-delà de ce point, la courbure des bandes est
opposée à celle en accumulation, une charge négative (due
aux accepteurs immobiles), appelée charge de déplétion
(figure II-2b).
Quand la tension de grille augmente encore plus, la courbure
des bandes devient plus prononcée. Cette courbure peut résulter
en un croisement du niveau de fermi intrinsèque Ei
avec le niveau de fermi Efp (Figure II-2c). Dans cette
situation, la surface du
semi-conducteur se comporte comme un matériau de type
n, d'où le nom de région d'inversion .Une couche conductrice
composée de charges négatives mobiles (électrons) est
alors formée : c'est la charge d'inversion . Cette charge
écrantant la couche de déplétion, cette dernière
n'est alors plus que faiblement dépendante de la polarisation de la
grille. En conséquence le couplage entre l'extension de la courbure des
bandes dans le silicium et l'augmentation de la tension de grille est alors
fortement réduit.
CHAPTRE ²² Structure et principe de
fonctionnement du transistor MOS page :20
(a)Régime d'accumulation, Vgb <
Vfb .
(b)Régime de déplétion,
Vgb > Vfb.
(c)Régime d'inversion, Vgb >>
Vfb.
Figure II-2: Distribution des charges et diagrammes des bandes
d'énergie correspondants,
dans un transistor n-MOS.
On parle d'inversion forte lorsque la densité de charge
mobile dans la couche d'inversion est supérieure à la
densité de charge fixe dans la couche de déplétion.
La charge d'inversion peut alors être mise en contact
via les régions de source et de drain, et
ainsi, un courant peut
circuler dans le canal lorsqu'une différence de potentiel
Vds est
appliquée entre le drain et la source. Puisque la
charge d'inversion dépend fortement du potentiel appliqué
à la grille, cette dernière peut alors être utilisée
pour moduler le niveau du courant circulant dans le canal [12].
²² .2 Etude statique du MOSFET:
²².2.1 Calcul de la caractéristique
statique:
Dans cette modélisation nous envisageons un MOSFET
à enrichissement à canal N.
Pour simplifier, on suppose que la capacité MOS est en
régime de bandes plates. En admettant que la mobilité des
porteurs ìeff est constante sur toute la
langueur L du canal
(MOS à canal long), la conductivité en un point de
la couche d'inversion est donnée par :
ó inv ( x , y , z ) =
q . ìeff .ninv( x, y ,
z) (II .1)
La conductance 3
dg d'un élément de volume dxdydz
est :
.
dg 3 = óinv (
x, z) .dyz
(II .2)
dx
Or, le nombre de porteurs de la couche d'inversion est constant
selon la direction oz
[ n inv ( x, y , z ) =
ninv( x, y ) ] .
dy
dg W . q . eff . n
inv x , y .
2 = ì ( ) (II .3)
dx
En intégrant sur l'épaisseur
yinv de la couche d'inversion à l'abscisse x:
yinv
dg
dx
q .n inv .dy
W . 0
eff. dx (II .4)
yinv
q .n inv. dy = -
Qinv ( x) = Charge d'inversion à la distance
x de la source.
0
dg
dx
= - W .ìeff .
Qinv ( x) / dx (II .5)
Cet élément du canal, parcouru par n courant
Id , est soumis à une tension dV telle que
Id = dg .dV donc:
I d . dx = - W
.ìeff . Q inv ( x .
)dV (II .6)
Le courant de drain s'obtient en intégrant la relation
(II .6) de x = 0 ( V = VS = 0) à
x = L ( V = Vd ) après
avoir calculé l'expression de Qinv ( x).
En un point x de la capacité MOS la relation
Qm = - ( QW + Qinv)
devient :
Q m ( x) = - QW
( x) - Qinv ( x) =
Cox[ V g -öS(
x)] (II .7)
CHAPTRE II Structure et principe de fonctionnement
du transistor MOS page :22
Avec Cox: la capacité d'oxyde par
unité de surface. öS ( x ) : Potentiel
électrostatique à l'abscisse x .
En régime de forte inversion, le potentiel de l'interface
est égal à deux fois la distance du niveau de fermi au milieu de
la bande Interdite :
öS ( 0 ) =2.öf
(II .8)
öS ( L ) = 2 .ö
f+Vd (II .9)
öS ( x ) = 2
.öf + V( x) (II .10)
Q m ( x ) C ox
.[ V g V ( x ) 2 . f ]
= - - ö (II .11)
La charge de la zone de charge d'espace à l'abscisse
x est donnée par:
Q W ( x ) = - q. N
a . W( x) = a.åOS
( 41 / 2 = - ( 2.q. N a . [
V ( x ) + 2 .0 f]/ 2 (II.12)
En reportant les expressions de QW (
x) et öS ( x) dans la relation (II
.7):- Q inv ( x ) = - C
ox ( V g V( x) -. f
) +( 2.q. N as. [ V( x ) +2
.0f])1/ 2 (II.13)
En remplaçant la charge d'inversion dans la relation (II
.6):
( ( ) ) ( q N [ V ( x ) ] )
dV
1 1 / 2
I dx W C V V x
= ì - ö + 2 . . . .
å + 2 . ö .
d . . . . - 2 .
eff ox g f a f
C ox
W.1 C
eff d = ox
.[(V 2,4 V d.u. 2 .(
241\ra sy/ 2 . (( Vd +2.103/
2 ( 4)3/ 2)
(II .14)
g f 2 rd 3.C
ox
Cette relation donne la valeur du courant de drain en fonction
de la tension drain- source pour une tension grille-source donnée. Elle
est valable jusqu'à la fermeture du canal ( Vd =
Vdsat).
Si l'épaisseur d'oxyde est faible devant
l'épaisseur de la zone de charge d'espace, la capacité d'oxyde
Cox est grande, le terme en 1 / Cox
dans la relation (II .14) est négligeable.
Posons VT = 2 .öf :
tension de seuil, c'est le potentiel de grille nécessaire pour obtenir
le phénomène de forte inversion [13]. La relation (II .14)
devient:
(
2
. (
V
g -
V
T)-
V
d)
d
W .ì eff .Cox
I d =
2. L
(II .15) V
0.0045
Id ( A)
0.00394
0.00338
0.00281
0.00225
0.00169
0.00113
5.625 . 10 4
0
|
|
|
|
|
Vg =
|
3 . 5 V
|
|
|
|
|
|
|
|
3 V
|
|
|
|
|
|
|
Vg =
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Vg =
|
2 . 5 V
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Vg =
|
2 V
|
|
|
|
|
|
|
Vg =
|
1 . 5 V
|
|
|
|
|
|
|
Vg =
|
1 .2 V
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
0 1.25 2.5 3.75 5 6.25 7.5 8.75 10
Vd ( V)
Figure II-3: variation de Id en fonction de
Vd
La valeur de la tension drain-source qui provoque le pincement
est obtenue en faisant
Qinv ( L) = 0 d'où
Vdsat = Vg - VT .
La valeur du courant de saturation est alors:
dsat = W . ì eff
.Cox ( V dsa32
= 2.L W 412eff.Cox
2.L ( V g -
VT)2 (²² .16)
II .2.2 Cas réel:
La prise en compte de la différence entre les travaux de
sortie du métal et du semiconducteur, des charges d'oxyde, des
états d'interface entraîne l'existence d'une tension de
bandes plates non nulle Vfb . La tension de
seuil du transistor devient : VT = Vfb +
2öf .
Expérimentalement, on détermine la tension de
seuil en extrapolant linéairement la caractéristique de
transfert.
D'autre part, la mobilité des porteurs minoritaires
dans la couche d'inversion est fonction du dopage, des champs
électriques transversal et longitudinal et de la température. En
première approximation, on suppose qu'elle dépend en grande
partie du champ électrique selon la relation suivante [13] [14]:
CHAPTRE ²² Structure et principe de
fonctionnement du transistor MOS page :24
ì0
ì = (²².17)
eff [1 . ( ) ] . [1 / ]
+ V - V
è + E E
g T c
Où è et Ec sont des
paramètres expérimentaux, ì0 est la
mobilité à faible champ. è Traduit
la variation de cette mobilité provoquée par
l'existence d'un champ électrique
transversal (
Ey ) , E / Ec traduit la
diminution de la mobilité correspondant à la saturation de la
vitesse.
²² .3 Etude dynamique du MOSFET:
Pour le modèle petits signaux du transistor MOS, on
utilise une linéarisation des équations du transistor autour de
son point de polarisation. Les éléments petits signaux peuvent
s'exprimer par : Id = gm .
Vg + gd .Vd
où gm et gd sont respectivement la transconductance et
conductance
du canal.
Le schéma électrique équivalent du
MOSFET en régime dynamique des petits signaux est
représenté sur la figure II-4. Il comporte outre, la
transconductance gm et la conductance gd, les capacités
parasites Cgs, Cgd et Cds, ainsi que les
résistances des zones de drain (Rd), de source (Rs) et de la
métallisation de grille (Rg).
Rg
Rd
Cgd
CgS
CdS
rdS
G
gm VgS
D
RS
S
Figure II-4: schéma équivalent du transistor
MOS.
CHAPTRE II Structure et principe de fonctionnement
du transistor MOS page :25
II .3.1 Calcul de la conductance et de la
transconductance:
dId
La conductance est définie par : g = . Dans la
région linéaire ( V d << V g - V T ) la
d
dV
d Vg
conductance est obtenue à partir de la relation (II
.15):
ì eff ox
g ( g T )
d = W. . C V V
- (II.18)
L
dI
g m = d
[
dV
g V .
d
Elle dépend linéairement de la tension grille. On
l'utilise sous la forme R ON = 1 gd :
résistance à l'état ON .
La transconductance est définie par :
En régime linéaire, elle est donnée par
:
W .ìeff .Cox
g m = .Vd (II .19)
L
En régime de saturation, elle est donnée par :
gm = W .ì eff
.Cox
(Vg - VT) (II .20)
L
Vg = 2 . 5 V
Vg = 2 V
Vg = 1 . 5 V
0 2 4 6 8 10
5 .10 4
0.0015
0.001
0
gm
( A V)
Vd ( V)
CHAPTRE ²² Structure et principe de
fonctionnement du transistor MOS page :26
On remarque que gm et gd
ont la même expression tant que QW peut être
considérée constante.
La relation (²² .14) est valable jusqu'au pincement et
le MOSFET idéal présente ensuite un courant
Id constant (une résistance drain-source8).
Expérimentalement les MOSFET présentent une pente
positive dans leurs caractéristiques I d (
Vd) au delà du pincement. Il existe donc une
résistance drain-source dans la région de
saturation exprimée par la relation
caractéristiques statiques.
dV d
r = obtenue en prenant la pente des
ds dI
g
d V
Cgs = 3
W·L· Cox
2 (II.21)
²² 3.2 Calcul des capacités:
Les capacités Cgs et
Cgd existent respectivement entre la grille et la source, et entre la
grille et le drain. La capacité totale sous la grille est fonction de la
capacité d'oxyde par unité de surface Cox et des
dimensions du transistor W et L ; elle est égale à
W.L.Cox. La capacité Cgs est une capacité
intrinsèque au fonctionnement du transistor dont la tension
vgs à ses bornes permet de moduler la conductance du canal.
En régime linéaire, les capacités Cgs
et Cgd sont équitablement réparties et sont donc
égales à 1/2 W.L.Cox. En régime saturé,
le canal se pince au voisinage du drain. La tension de drain influe alors
faiblement que ce soit sur la charge du canal ou de la grille. Par
conséquent, la partie intrinsèque de Cgd est quasiment
nulle en régime saturé. La capacité Cgd n'est
alors représentée que par la capacité parasite constante
due à la portion de grille chevauchant l'aire de drain. Cette
capacité est donc nettement inférieure à la
capacité Cgs en régime saturé.
La capacité Cgs en régime saturé
s'écrit :
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 27
Dans le transistor MOS, le canal qui représente la zone
active du dispositif est le siége de l'essentiel des mécanismes
de transport. Par conséquent, les sources de bruit à apprendre en
considération sont le bruit thermique, le bruit en 1 / f et
éventuellement le bruit de grenaille.
²²².1 Bruit thermique :
Cette composante de bruit est localisée en sortie
entre le drain et la source, causée par une perturbation du potentiel
dans le canal. Pour le transistor MOS fonctionnant en régime ohmique, le
canal est une résistance générant un bruit thermique de
densité spectrale [5] [15] [16]:
= 4 . . . (²²² .1)
k T 1
S th g d
Avec gd est la conductance drain-source
approximativement égale à la transconductance
gm du dispositif en régime linéaire.
2
En saturation, à cause des différents effets de
champ, elle vaut approximativement .gm [15].
3
²²².2 Bruit en 1/f :
Le bruit en 1/f dans un MOSFET est provoqué par deux
processus.
· Fluctuation du nombre de porteurs a l'interface
oxyde-semiconducteur, qui est décrit par la théorie de
McWhorter.
· Fluctuation de la mobilité des porteurs
majoritaires circulant dans le canal, qui est décrit par la
théorie de Hooge.
Dans cette étude uniquement le dernier cas est
traité.
Soit un transistor MOS à canal n, l'équation de
Langevin s'écrit [6]:
I d q eff E N x E x H x t
= ì
. ( ) . ( ) . ( ) ( , )
+ (²²² .2)
q est la charge élémentaire, E est le champ
électrique le long du canal, H est une source de bruit de
Langevin.
N(x) est le nombre d' -
e par unité de volume, ì
eff ( E) est la mobilité des électrons,
qui est une grandeur caractéristique de la surface du semi-conducteur et
qui diffère de celle rencontrée dans le volume.
CHAPTRE III Bruit dans le transistor MOS page :
28
D'après l'équation (I-47) la densité
spectrale de courant est telle que :
Sd (f) =
f .L2
I
.áH(
x,E) d N( x)
. x
1
(III.3) )
2
L
Id
0
En première approximation, on suppose que le
áH est indépendant de x et du
champ
électrique et on considère que le nombre de
porteurs est uniforme le long du canal (cas d'un canal long).
Sachant que le courant de drain est donné par la relation
:
dV x
( )
I d W q eff N x
= . . ì . ( ) (III .4)
dx
L'expression (III-3) devient :
vds
SId (f)
2 I d . (0) . (
á H · ì dV x
eff
(III .5)
=
f
q
)
0
Dans ces conditions, deux cas sontàaconsidérerr
:régimee de faible inversion et de forte inversion.
A-Régimee de faible
inversion: lamobilitée est constanteìeff
==ì0oL'intégrationn del'équationn (III-5) donne
:
\á HH( 0) .q
. ì00. VVd
d.Idd S SI1d ( f f
= (III .6))f.L22
Ladensitée spectraledépendd de la
puissancedissipée..
B-Régimee de forte inversion :
Dans ce cas lamobilitée estdépendantee de la
tension de grille selon la loi :
ì0o
ì,effff== [ 1 +è (Vg-VT)]](III .7))
et parconséquent,, le courant de drain s'écrit
:q N x dV x . . .
ì ( ) ( )
I d .
·dxx
==[1 ++è(V g
g-VT)]]
0 )
(III.8) )
Enremplaçantt dans l'équation (III.5) on trouve
:
Vdd
áHH
( )
f
f..
L
L2. .[1 1
+
+
è
0(
V
g g-
V
TT
0 . . . .
q I dV x
ì ( )
0 d )SI d a(
f))00)]1(III .9) )
Après intégration on trouve:
á (0) . . . .
q I V
ì 0 d d
S d f
( ) 2 H
= (²²² .10)
I f L
. . [1 (
+ è V V
- )]
g T
²²².3 Bruit de grenaille :
On considère l'éventuel courant de fuite de la
grille Ig qui crée un bruit de grenaille de
valeur [15]:
SIg = 2 . q. I g (²²²
.11)
²²².4 Modélisation du bruit dans
le MOSFET :
²²².4.1 Schéma équivalent
physique pour le bruit :
Le schéma équivalent physique avec les sources de
bruit pour les moyennes fréquences est la suivante:
G
SIg C g
V1
D
gd SId
gm .V1
S
Figure III-1: schéma équivalent physique moyennes
fréquences
Pour le calcul du bruit du transistor MOS.
La densité spectrale totale de bruit du courant de drain
est:
8 á (0) . . . .
q I V
ì
H 0 d d
S d = . . .
k T g + (²²² .12)
I m
3 f L
. . [1 (
2 + è V V
- )]
g T
²²² .4.2 Schéma équivalent
avec générateur de bruit ramené à l'entrée
:
Pour déterminer le schéma équivalent avec
générateur de bruit ramené à l'entrée, il
suffit
d'identifier électriquement les modèles de la figure
III-2 et de la figure III-3. Le bruit de
grenaille étant négligé, le
générateur de tension de bruit équivalent d'entrée
En est déterminé en court-circuitant les
entrées des deux schémas. En identifiant les courants de sortie,
on écrit:
CHAPTRE III Bruit dans le transistor MOS page :
30
gm .En =
Idn (III .13)
D'où
gm
S E = 8 .k.T. 3
1 áq I V
H (0) . . . .
ì 0 d d
+ (III .14)
f L 2 2
. . [1 (
+ è V V g
- )].
g T m
Le générateur de courant de bruit
équivalent en entrée Jn est
déterminé en ouvrant les entrées des deux schémas.
Par identification des courants de sortie, on obtient:
D'où
Jn
g m . =
p
ù2 2
. C
I Soit 2
g
J 2 = . I
n 2 dn
gm
dn
Cg
.
g m
3 g m
S
( 2.ð. g. i'2 . 8
.7,1,. 1 + áH (0)
.q . ì0 . I
d .Vd
(III .15)
J n `-'
f .L2 . [1 + è(V
g - VT )].g2,
1
Jn
|
2
8 1 á ( )
0 . . . .
q I V
ì
H 0 d d
( )
2 . . . .
ð f C k T
. . +
g 2 2
3 g f L
. . [1 (
+ è V V g
- )].
m g T m
|
(III .16)
|
G D
Cg
V1
gm .V1
Idn
gd
S
SEn
G D
gd
SJn
Cg
V1
gm .V1
S
Figure III-2: schéma équivalent simplifié
pour le calcul du bruit du transistor MOS.
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 31
²²².5 Facteur de bruit :
Le facteur de bruit Fn est un indice de
performance caractérisant la qualité d'un
système linéaire du point de vue de son bruit
propre. Il est défini à T = 290K comme le
rapport du signal à bruit à l'entrée sur le rapport de
signal à bruit en sortie.
P P
se ne
F = (111.16)
n P P
ss ns
Un transistor dont l'entrée est fermée sur une
source de résistance RS présente un facteur
de bruit Fn tel que [4]:
n
- =
1
F n
4 .
E R I
2 + 2 2
S n
.
k R T
. .
S
(111.17)
Si l'on place sur la même source deux transistors en
parallèle, et l'on additionne les signaux de sortie de ces deux
éléments amplificateurs, le facteur de bruit de l'ensemble est
:
F n
|
E R I
2 2 2
2 . ( + . )
n S n
- =
1 (111.18)
4 . (4 . . . )
k R T
S
|
²²².6 Simulation et analyse :
Pour une bonne exploitation des résultats
théoriques, un calcul assisté par microordinateur est
nécessaire.
Une approche des résultats pratiques des
générateurs de bruit peut être obtenue par la
simulation.
La figure III-4, montre la variation de générateur
de tension de bruit En en fonction de la fréquence
f , on distingue deux plages séparées par la
fréquence de coin fc .
· Pour 1 < f <fc il y'a
contribution du bruit en 1 f .
· Pour f > fc le bruit
blanc qui domine.
On remarque aussi que En
décroît lorsque la tension de polarisation Vg
augmente.
La figure III-5, montre la variation de générateur
de tension de bruit En en fonction de la tension de
polarisation Vd , on remarque que En
décroît en - 1
Vd pour les faibles valeurs de
Vd et croît en Vd pour les
grandes valeurs. Une valeur optimale de Vd est ainsi
dégagée pour laquelle le générateur
En est minimal. Cette valeur optimale de
Vd décroît lorsque la tension de polarisation
Vg augmente.
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 32
La figure III-6, montre la variation de générateur
de tension de bruit En en fonction de la tension de
polarisation Vg , on remarque que En
décroît en - 1
Vg pour les faibles valeurs de
Vg et croît en Vg pour les
grandes valeurs. Une valeur optimale de Vg est ainsi
dégagée pour laquelle le générateur
En est minimal. Cette valeur optimale de
Vg décroît lorsque la tension de polarisation
Vd augmente.
La figure III-7, montre la variation de générateur
de tension de bruit En en fonction de la transconductance
gm , on remarque que En
décroît en - 1
gm pour les faibles valeurs de
gm et tend
vers 0 pour les grandes valeurs.
La figure III-8, représente la variation de
générateur de courant de brui In en fonction
de la fréquence f , l'augmentation de la tension de
polarisation Vg permet la réduction de
générateur du courant de bruit. L'influence de la capacité
de grille sur le générateur du courant de bruit ne se fait sentir
qu'à partir des fréquences élevées. On s'attend que
pour les fréquences élevées le bruit de fond sera
important.
La figure III-9, montre la variation de générateur
de courant de bruit In en fonction de la tension de
polarisation Vd, on remarque que In
décroît en - 1
Vd pour les faibles valeurs de
Vd et croît en Vd pour les
grandes valeurs. Une valeur optimale de Vd est ainsi
dégagée pour laquelle le générateur
In est minimal. Cette valeur optimale de
Vd décroît lorsque la tension de polarisation
Vg augmente.
La figure III-10, montre la variation de
générateur de courant de bruit In en fonction
de la tension de polarisation Vg , on remarque que
In décroît en - 1
Vg pour les faibles valeurs de
Vg et croît en Vg pour les
grandes valeurs. Une valeur optimale de Vg est ainsi
dégagée pour laquelle le générateur
In est minimal. Cette valeur optimale de
Vg décroît lorsque la tension de polarisation
Vd augmente.
La figure III-11, montre la variation de
générateur du courant de bruit In en fonction
de la transconductance gm , on remarque que
In décroît en - 1
gm pour les faibles valeurs de
gm et tend
vers 0 pour les grandes valeurs.
La figure III-12, montre la variation de facteur de bruit
Fn d'un seul transistor MOS en fonction de la
résistance de générateur RS , on
remarque que Fn décroît en - 1
RS pour les faibles
valeurs de RS et tend vers 1 pour les
grandes valeurs.
La figure III-13, montre que pour chaque fréquence de
fonctionnement on à une résistance optimal à placée
à l'entrée de l'amplificateur.
La figure III-14, montre la variation de facteur de bruit de
deux transistors MOS en parallèle, on remarque que
Fn décroît en - 1
f pour les faibles valeurs de f et tend vers
1 pour les grandes
valeurs.
La figure III-15, montre que pour chaque fréquence de
fonctionnement on à une résistance optimal à placée
à l'entrée de l'amplificateur.
La figure III-16, montre la variation de facteur de bruit
Fn en fonction de la résistance du
générateur RS , on remarque
que les valeurs de Fn pour deux transistors MOS est faibles
par
rapport à celui d'un seul transistor MOS. En conclusion,
on peut dire que l'utilisation de deus transistors MOS en parallèle
permet la réduction du facteur de bruit.
La figure III-17, montre la variation de facteur de bruit
Fn en fonction de la fréquence f , on
remarque que les valeurs de Fn pour deux
transistors MOS est faibles par rapport à celui d'un
seul transistor MOS.
La figure III-18, montre la variation de la transconductance
gm en fonction des paramètres
technologiques( W L) , on remarque que
gm est proportionnelle à W L .
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 34
1.10 6
1.10 8
1.10 9
1.10 7
En (V hz)
Vd
1 0
V
Vg
1 . 5
Vg
3
|
|
|
|
|
|
f3 = 1
|
0 hz
|
|
|
|
|
Vg =
|
1 . 5
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Vg =
|
3
|
|
Vg
|
=
|
5
|
|
|
1 10
( V)
5. 10
4.25. 10 9
En (V hz) 3.5.10 9
2.75. 10 9
2. 10 9
Vd
1 10 100 1. 10 1.104 1.105
f( hz)
Figure III-4: simulation de la tension de bruit en fonction de
la fréquence
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 35
|
|
|
|
|
|
f3 = 1
|
0
|
hz
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Vd = 2 V
|
|
|
Vd =
|
3
|
|
Vd
|
=
|
6
|
|
1 10
Vg ( V)
5.10 9
En (V hz)
4.10 9
3.10 9
2.10 9
Figure III-6 : simulation de la tension de bruit en fonction de
la tension Vg
1 .10 9
En (V hz)
5 .10 10
f
1 0
3
hz
0.01 0.1 1 10 100
gm ( mA V)
Figure III-7 : simulation de la tension de bruit en fonction
de la transconductance gm
2. 10 15
In (A hz)
1. 10 15
Vd
1 0
V
1 . 5
V
Vg
3
V
Vg
1 10 100 1.103 1 .104 1 .10 5
f ( hz)
Figure III-8: simulation du courant de bruit en fonction de la
fréquence
Vd ( V)
1 . 10 16
In (A hz)
1 . 10 17
hz
Vg = 1 . 5
Vg = 3
1 10
3
f
1 0
Figure III-9: simulation de courant de bruit en fonction de
Vd
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 37
Vd
1
Vd
5
f
1 0
3
hz
1 10
Vg ( V)
1 . 10 16
In (A hz)
1 . 10 17
Figure III-10: simulation du courant de bruit en fonction de la
tension Vg
5 . 10 18
In (A hz)
f
0
3hz
0.01 0.1 1 10 100
gm
( mA V)
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 38
f Vd
Vg
1 0
2
1 0
V
4
V
hz
6
Fn 4
2
1 . 10 5
10 100 1 .103 1 .104 1 .106
1.107
RS ( Ù)
Figure III-12: simulation du facteur de bruit d'un seul
transistor MOS en fonction de RS
Fn
1 .104
1 .103
100
10
1
Vg
Vd
1 0
2
V
V
RS
= 100Ù
RS
= 1000Ù
RS
=100
00Ù
1 .103 1 .105
1 10 100 1 .10 4
f( hz)
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 39
Vd
Vg
4
2
1 0
2
V
V
3
Fn
1.106 1.107
10 100 1 . 10 3 1 . 10 4 1 . 10 5
f( hz)
Figure III-14: simulation du facteur de bruit de deux
transistors MOS en parallèle en fonction
de la fréquence.
Fn
1 10.
1 .103
100
10
1
4
1 10 100 1.103 1.10 4 1.105
RS
RS = 100
1000
RS
10000
Vg
Vd
2
1 0
V
V
f( hz)
? 10 3 1 ? 104 1 ? 105 1 ? 106
1 ? 107
10 100 1
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 40
Fn
4
f
hz
1 0
6
Vd
Vg
1 0
V
2
V
Un transistor
4
2
Deux transistors
RS ( Ù)
Figure III-16: simulation du facteur de bruit en fonction de
RS
1 .104
1 .103
Fn
100 10 1
|
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|
|
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|
|
|
Un
|
|
|
transistor
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Vd
|
=
|
1 0
|
V
|
|
|
|
|
|
|
|
|
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|
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|
|
|
transistors
|
|
|
|
|
|
|
|
|
=
|
2
|
V
|
|
|
|
|
|
|
Deux
|
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|
|
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|
|
Vg
|
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|
R
|
=
|
|
100
|
Ù
|
|
|
|
|
|
|
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|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
S
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|
=
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1000Ù
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|
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|
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|
|
RS
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|
RS =
|
|
10000Ù
|
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|
|
1 .103 1 .104 1 . 105
1 10 100
f( hz)
CHAPTRE ²²² Bruit dans le transistor
MOS page : 41
L
W
Figure III-18: simulation de la transconductance en fonction
de
L
gm
( mA V)
0.010.01 0.1 1 10
W
100
0.1
10
1
VT
Vd
Vg
0 .
3
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Conclusion générale page : 42
Conclusion générale
Le travail effectué dans ce mémoire porte sur la
modélisation du bruit de fond dans le transistor MOS à canal long
en basse et moyenne fréquence.
En premier lieu, nous avons présenté une
synthèse de l'essentiel des formalismes physiques responsables du bruit
de fond dans les composants à semi-conducteur.
Il est intéressant de constater que pour
améliorer les performances des systèmes électroniques, une
étude très approfondie du bruit de fond des composants à
semi-conducteurs est nécessaire avant l'étape de la
fabrication.
En deuxième lieu, une modélisation du bruit de
fond dans le transistor MOS a été
effectuée.
En dernier lieu, un outil de travail « Mathcad »
basé sur la simulation est mis à profit pour déterminer
les paramètres influant sur le bruit :
· les paramètres technologiques : une
transconductance élevée améliore sensiblement les
performances en bruit. La seule façon d'augmenter la transconductance
est d'augmenter la largeur de la grille. L'utilisation de matériau de
haute mobilité augmente aussi cette transconductance.
· les paramètres de polarisation : selon les
performances électriques souhaitées, il nécessaire de
déterminer la gamme pour laquelle le transistor MOS produit un minimum
de bruit, dans les application d'amplification et/ou de détection, ou
maximum de bruit dans certaines applications (les oscillateurs par exemple).
Etant donné que, la recherche dans le domaine du bruit
de fond est encore en développement l'étude approchée
faite dans ce projet nous a permis d'acquérir des connaissances
importantes sur l'aspect physique de bruit et sur la modélisation.
[1] B.Pistoulet-Michel Savelli ``physique des dispositifs
électroniques» Dunod-1969.
[2] Gabaiel Vasilescu `` Bruits et Signaux parasites»
Dunod-1999.
[3] Michel Savelli ``Electronique
généralités matériaux» E140 Technique de
l'ingénieur.
[4] Michel Savelli-José Comallonga-Laurent Boggiano
``Bruit de fond et mesures» E1 150- R 310 Technique de
l'ingénieur.
[5] A.Ambrozy ``electronic noise» MacGrow Hill-1982.
[6] B.Makunda-J Moore ``Measurements and interpretation of low
frequency noise in FETs» IEEE-1974.
[7] A Van der ziel ``Unified presentation of 1/f noise in
electronic devices: fundamental 1/f noise sources» IEEE-1988.
[8] A Van der ziel, and A.D.Van.Rheenen ``Extension of the Hooge
parameter concept» SSE-1990.
[9] E.A.Hendriks and R.J.J.Zijlstra ``1/f noise in (100)
n-Channel Si-MOSFETS from T=4.2K to T=295K» SSE-1988.
[10] Mj Buckinghan ``noise in electronic devices and
systems» 1983.
[11] Kostas A Meriadis ``g-r noise spectra of semi-conductor and
insulator with various traps distribution» SEE-1990.
[12] Jean-pierre Colinge et Fernand Van de wiele``Physique des
dispositifs semiconducteurs» De Boeck-1996.
[13] Bernard Boittiaux ``Cours d'électronique-les
composants semi-conducteurs» TEC DOC1995.
[14] Norman G.Einprush ``advanced MOS devices
physics»1989.
[15] Document HTML``Eléments théoriques sur le
bruit dans les circuits électroniques»
http://www.comelec.enst.fr
[16] B.Makunda ``FET noise sources and their effects on
amplifier performance at low frequencies» IEEE-1972.
Résumé:
Le travail présenté dans ce mémoire concerne
la modélisation et la simulation de bruit de fond dans le transistor MOS
à canal long en basse et moyenne fréquence.
En ce qui concerne la modélisation, une étude de
la physique a été présentée afin de décrire
les différentes sources de bruit de fond dans le transistor MOS: le
bruit thermique, le bruit en 1 / f et éventuellement le bruit
de grenaille, ...
En ce qui concerne la simulation, un outil informatique «
Mathcad » a été utilisé afin de rendre compte de
l'influence des paramètres technologiques et de polarisation.
Mots clés:
MOSFET, bruit de fond, simulation, modélisation, basse
fréquence, Mathcad.