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Contribution à  l'étude structurale et microstructurale de films ZnO obtenus par ablation laser

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par Adel TAABOUCHE
Université Mentouri Constantine Algérie - Magister en sciences des matériaux 2010
  

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Introduction générale

Introduction générale

L'oxyde de zinc est un composé semi conducteur transparent de type II-VI avec une conductivité naturelle de type n. Les propriétés notables de ZnO son sa largeur directe (3.27 eV) à température ambiante et son énergie de liaison d'exciton élevée (60 meV) qui est très supérieure à celle de certains matériaux couramment utilisés tel que ZnSe (20 meV) et GaN (25 meV). La non-toxicité et l'abondance de ZnO sur la terre font de lui un candidat idéal utilisé comme contact électrique transparent pour les cellules solaires en couches minces. Ce matériau est d'une grande importance dans le domaine de l'optoélectronique et de la photovoltaïque. Il peut être utilisé dans plusieurs applications dans différents domaines scientifiques et industriels tels que les transducteurs piézoélectriques, les guides d'onde, détecteurs à gaz, électrodes transparentes conductrices, varistors.

Parmi les nombreuses techniques d'élaboration de matériaux micro- ou nanostructurés, on peut citer l'élaboration par voie chimique CVD (Chemical Vapor Deposition). Cependant, ces techniques ont l'inconvénient de conduire à des films contaminés par les résidus des précurseurs et d'avoir une température de réaction souvent élevée. On peut aussi citer l'élaboration par voie physique PVD (Physical Vapor Deposition) qui regroupe principalement l'évaporation, la pulvérisation sous toutes ses formes et l'ablation laser. Les dépôts PVD présentent beaucoup d'avantages par rapport aux dépôts CVD. Les techniques PVD permettent de fabriquer des films denses et de ne pas avoir de pollution (contamination).

Les échantillons relatifs à cette étude sont préparés par ablation laser pulsé de l'oxyde non dopé (ZnO) et dopé en aluminium (AZO). La technique PLD est un procédé de laboratoire qui permet le dépôt d'une multitude de composés de haute pureté allant des supraconducteurs à haute température critiques aux matériaux durs. La pureté des dépôts ne dépend dans ce cas que de la pureté de la cible utilisée. La technique PLD présente également l'avantage d'une grande souplesse d'utilisation aussi bien pour le dépôt en couche mince que pour la réalisation de nanostructures.

L'ablation laser apparaît donc comme la méthode de qui s'adapte le mieux pour la croissance de tels oxydes en couches minces ou sous forme de nanostructures avec une composition et une stoechiométrie contrôlée, et une structure cristalline de qualité. Les propriétés structurale, optique et électronique de tels films d'oxydes étant fortement dépendantes de la nature et de la concentration des défauts de structure présents dans ces couches.

Il s'agit d'étudier la croissance par ablation laser de l'oxyde de Zinc non dopé et dopé à
l'aluminium en films minces, en fonction des conditions expérimentales (le type des substrats

et le taux de dopage), et de corréler leurs propriétés optiques (valeur du gap, transmittance) avec leurs caractéristiques morphologiques.

Dans le premier chapitre, nous commençons par une étude bibliographique générale et une description du matériau étudié dans son aspect fondamental. Aussi, une attention particulière est portée sur les applications des oxydes transparents conducteurs (TCO).

Le deuxième chapitre décrit d'une part les différentes étapes expérimentales suivies pour préparer les échantillons ZnO et AZO. D'autre part les techniques expérimentales mises en oeuvre y l'élaboration de ce travail de thèse. En premier lieu, nous détaillons les conditions de dépôts de sont décrites.

Dans le troisième et dernier chapitre, nous présentons les résultats d'analyse la composition et détermination de l'épaisseur par RBS et étude des propriétés structurales, morphologiques et optiques des échantillons élaborées. L'évolution de ces propriétés physiques en fonction du dopage et du type des substrats utilisés y est étudiée et analysée.

Enfin, nous terminons ce manuscrit par une conclusion générale sur les résultats d'analyse expérimentale obtenus.

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