Conclusion :
0
- 47 -
? Le facteur pression nous sert de filtre pour
le choix des types d'ions positifs à étudier.
Chapitre IV Mesures expérimentales
100
0
4.2.4 Rôle de la puissance :
a) Sur la proportion en pourcentage des différents
types ions positifs:
Les résultats en fonction de la puissance ont
été déjà présentés dans les graphes
précédents. Cependant afin de mieux faire ressortir l'effet de la
puissance, nous représentons ci-dessous les proportions des
différents ions en fonction de la puissance pour différentes
pressions.
95
90
85
80
75
70
65
60
55
50
45
40
35
30
25
20
15
10
5
Pressure: 0.2Pa
H*
3
H*
2
H*
- 48 -
0 100 200 300 400 500 600
Power (W)
Fig. 4.5a Proportion en pourcentage des ions
positifs H en fonction de la puissance (P= 0.2 Pa)
100
95
90
85
80
75
70
65
60
55
50
45
40
35
30
25
20
15
10
5
0
0 100 200 300 400 500 600
Pressure 0.4Pa
H*
3
H*
2
H*
Power (W)
las Hydro
d
Fig. 4.5b Proportion en pourcentage des ions
positifs H
en fonction de la puissance (P= 0.4 Pa)
Chapitre IV Mesures expérimentales
Pressure 1Pa
H+
3
H+
2
H+
100
95
90
85
80
75
70
65
60
55
50
45
40
35
30
25
20
15
10
5
0
0 100 200 300 400 500 600
Power (W)
Fig. 4.5c Proportion en pourcentage des ions
positifs H
en fonction de la puissance (P= 1 Pa)
Pressure 2Pa
H+
3
H+
2
H+
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
0 100 200 300 400 500 600
- 49 -
Power (W)
dge
ro
Fig. 4.5d Proportion en pourcentage des ions
positifs H
en fonction de la puissance (P= 2 Pa)
Chapitre IV Mesures expérimentales
Pressure 0.2Pa
D+
3
D+
2
D+
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
0 100 200 300 400 500 600
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
Power (W)
Fig. 4.6a Proportion en pourcentage des ions
positifs D
en fonction de la puissance (P= 0.2 Pa)
Pressure 0.4Pa
D+
3
D+
2
D+
- 50 -
0 100 200 300 400 500 600
Power (W)
D
D Deu
De
Fig. 4.6b Proportion en pourcentage des ions
positifs D
en fonction de la puissance (P= 0.4 Pa)
Chapitre IV Mesures expérimentales
Pressure 1Pa
D+
3
D+
2
D+
100
95
90
85
80
75
70
65
60
55
50
45
40
35
30
25
20
15
10
5
0
0 100 200 300 400 500 600
Power (W)
Fig. 4.6c Proportion en pourcentage des ions
positifs D en fonction de la puissance (P= 1 Pa)
D+
D+
2
D+
3
Pressure 2Pa
100
90
80
70
60
50
40
30
20
10
0
0 100 200 300 400 500 600
- 51 -
Power (W)
e m
ma ma
Fig. 4.6d Proportion en pourcentage des ions
positifs D en fonction de la puissance (P= 0.2 Pa)
Conclusion :
teu
? De ces différentes mesures, on constate que
globalement la puissance a peu d'influence. On peut toutefois noter qu'à
plus forte pression et l'augmentation de la
puissance conduit à une diminution de au profit de (idem
deutérium).
Chapitre IV Mesures expérimentales
- 52 -
b) Sur la densité ionique des différents
types ions positifs:
Lorsque l'on augmente la puissance la densité ionique
(donnée par les sondes)
augmente fortement (graphes 4.7 et 4.8). La diminution de vient
probablement d'un
mécanisme de collision entre et les électrons :
Pour confirmer cette hypothèse il faudra développer
un modèle prenant en compte les différents mécanismes de
création et de perte des ions positifs. Ce sujet n'est pas traité
dans ce mémoire, il se fera par la suite.
0 100 200 300 400 500 600
4,00E+008
3,50E+008
3,00E+008
2,50E+008
2,00E+008
5,00E+007
0,00E+000
1,50E+008
1,00E+008
Pression 0.2Pa Pression 0.4Pa Pression
1Pa Pression 2Pa
Puissance (W)
Fig. 4.7 Evolution de la densité
ionique en fonction de la puissance
(Plasma d'hydrogène à
différentes pressions)
0 100 200 300 400 500 600
2,50E+008
2,00E+008
3,00E+008
5,00E+007
0,00E+000
1,50E+008
1,00E+008
Pression 0.2Pa Pression 0.4Pa Pression
1Pa Pression 2Pa
'_h
m
Puissance (W)
)
Fig. 4.8 Evolution de la densité
ionique en fonction de la puissance
(Plasma de deutérium à
différentes pressions)
Chapitre IV Mesures expérimentales
|
Puissance
|
Tab. 4.1 Concentration Ions positifs Plasma
hydrogène
Concentration Concentration Concentration
(en %) (en %) (en %)
|
|
30 W
|
26.74
|
66.97
|
6.29
|
|
100W
|
28.26
|
63.07
|
8.67
|
|
0.2 Pa
300 W
|
27
|
63.62
|
9.38
|
|
600 W
|
25.73
|
65.53
|
8.74
|
|
30 W
|
23.56
|
54.63
|
21.80
|
|
100W
|
24.38
|
54.71
|
20.91
|
|
300 W
|
22.80
|
55.61
|
21.59
|
|
600 W
|
25.88
|
52.35
|
21.77
|
|
30 W
|
13.67
|
15.81
|
70.51
|
|
100W
|
14.90
|
26.12
|
58.98
|
|
300 W
|
18.58
|
33.21
|
48.21
|
|
600 W
|
18.68
|
35.17
|
46.15
|
|
30 W
|
6.32
|
8.58
|
85.1
|
|
100W
|
4.36
|
10.87
|
84.76
|
|
300 W
|
7.08
|
17.21
|
75.71
|
|
600 W
|
8.92
|
18.73
|
72.53
|
0.4 Pa
1 Pa
2 Pa
Observation
Les
dominent, quelque soit la puissance
Même
domination des , mais moins forte
Les
dominent, mais
pas suffisamment Les dominent
largement, quelque soit la puissance
|
Tab. 4.2 Concentration Ions positifs Plasma
Deutérium
Concentration Concentration Concentration
(en %) (en %) (en %)
|
|
30 W
|
1.96
|
92.27
|
5.76
|
|
100 W
|
2.10
|
91.49
|
6.41
|
|
300 W
|
2.23
|
90.87
|
6.9
|
|
600 W
|
2.17
|
91.11
|
6.72
|
|
30 W
|
2.51
|
77.43
|
20.06
|
|
100W
|
2.62
|
78.39
|
18.99
|
|
300 W
|
3.41
|
77.53
|
19.06
|
|
600 W
|
4.46
|
76.78
|
18.76
|
|
30 W
|
3.38
|
28.24
|
68.38
|
|
100W
|
3.76
|
37.82
|
58.43
|
|
300 W
|
5.42
|
43.27
|
51.31
|
|
600 W
|
13.96
|
34.66
|
51.37
|
|
30 W
|
2.71
|
7.98
|
89.31
|
|
100W
|
3.3
|
8.34
|
88.36
|
|
300 W
|
6.94
|
10.98
|
82.08
|
|
600 W
|
14.98
|
9.87
|
75.14
|
0.2 Pa
0.4 Pa
1 Pa
2 Pa
Observation
largement, quelque soit la puissance
Les
dominent, quelque soit la puissance
Même domination
des , mais
moins forte
Les
dominent, mais
pas suffisamment Les dominent
- 53 -
4.2.5 Tableau récapitulatif et conclusion
:
Les tableaux suivants récapitulent les résultats
précédents et montrent l'évolution des pourcentages des
ions positifs en fonction de la puissance injectée, et pour une pression
donnée:
- 54 -
Chapitre IV Mesures expérimentales
H 2 + e ? ? ?? H + +
H + 2 e ?
| 
